Gebraucht LAM RESEARCH 4400 #9311438 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4400 Asher ist ein Plasmabearbeitungswerkzeug zur Herstellung von Ätz- und Ablagerungsschichten und -strukturen auf Halbleiterscheiben. Dieses Tool verwendet eine induktiv gekoppelte multiRF-Plasmaquelle und eine automatisierte Masse- flow™ Gasregulierung, um eine präzise Gasverteilung und eine nahtlose Prozesssteuerung zu ermöglichen. Der Ascher kann mit einer Vielzahl von Gasen und Rezepten arbeiten, so dass eine breite Anpassung und Experimente. Darüber hinaus verfügt 4400 über ein robustes, berührungsloses IR-Gasüberwachungssystem zur vollständigen Überwachung und Echtzeit-Prozesssteuerung. LAM RESEARCH 4400 Asher ist mit x3x und x4x Prozesskits ausgestattet, was bedeutet, dass es Ätzablagerung und Ascherrezepte für Energieverstärkungszwecke auslöschen kann. Es verfügt über eine beheizte Ladekammer für wiederholbare und präzise Substrathandhabung, eine große Prozesskammer für breitere Waferhandhabung und eine kleine Kammer für schnelle Umdrehungsprozesse. 4400 ist für präzises Ätzen, zuverlässiges Aschen und präzises Abscheiden von Dünnschichtschichten ausgelegt. Es nutzt Kerfless Plasma™ und Ätzkompensation, um die Ätz- und Depotgenauigkeit zu kontrollieren. Das Werkzeug enthält Abstandseinheit und Ablagerungsmonitor, um den Flüssigkeitsstand des Ionenbeschusses zu steuern. Es beinhaltet auch einen Durchbruchbeschichtungsprozess, der den Polymeraufbau an den Wänden der Ätzkammer eliminiert. LAM RESEARCH 4400 hat viele Prozessparameter wie Gaszusammensetzung, Druck, HF-Leistung, HF-Vorwärtsleistung, HF-Umkehrleistung, Substrattemperatur, Massenstrom, Partialkammerdruck, Vorspannung, Substratvorspannung usw. Diese Paramater können fein abgestimmt werden, um die besten Prozessergebnisse zu liefern. 4400 Asher ist auch mit einer eigenen optionalen High Resolution Etch Monitor Machine (HRES) ausgestattet, einer erweiterten Version des Deposition Monitors, die die Fähigkeiten dieses Tools weiter ergänzt. Es ermöglicht höchstmögliche Ätzraten und Präzision für höchste Schichtgenauigkeit. LAM RESEARCH 4400 Asher wurde entwickelt, um Perfomance und Erträge zu maximieren und die hohen Standards der heutigen anspruchsvollen Siwafer-Verarbeitung zu erfüllen. Der Ascher kann große und kleine Waferdurchmesser handhaben, mit einer maximalen Bearbeitungsfläche von 406mm. Seine wiederholbare und präzise Prozesssteuerung ermöglicht reibungslose, zuverlässige und saubere Ergebnisse.