Gebraucht LAM RESEARCH 4400B #293747957 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4400B
ID: 293747957
Etcher Chiller (2) Dry pumps.
LAM RESEARCH 4400B ist ein Ätz-/Ascherwerkzeug, das in der Mikroelektronik und der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es wird speziell zur Belichtung von Photolack auf einer Vielzahl von Substratmaterialien wie Siliziumscheiben und Kupferfolien verwendet. Das Tool bietet eine überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit durch den Einsatz modernster Plasmatechnologie, um präzise Ätz- und Ätzselektivitätsergebnisse zu erzielen. 4400B Ätzer/Ascher verfügt über ein innovatives Dualkammer-Design, das eine optimale Plasmakontrolle und überlegene Prozessselektivität bietet. Das Werkzeug umfasst eine obere Eintrittsantennenkammer, die zur Erzeugung des Plasmas dient, und eine untere Duschkopfkammer, die zur gleichmäßigen Gasförderung für den eigentlichen Ätzvorgang dient. Die Antennenkammer hat eine 6-Zoll-geruchlose ebene Oberfläche, um sicherzustellen, dass es keine Probleme mit der Gleichmäßigkeit des Bildschirms gibt. Zusätzlich weist die obere Kammer zwei Elektronen-CycloStrobillationsquellen auf, die die Quelle für hochfrequenten Wechselstrom für das Verfahren sind. Die untere Kammer von LAM RESEARCH 4400B ist die kritische Zone für Prozessgleichförmigkeit. Die Duschkopfkammer enthält eine Konzentrizitätseinstellung, die eine gleichmäßige Gasförderung während des Ätzvorgangs gewährleistet. Es verfügt auch über ein Schallabsorptionssystem, um Reflexion und Rauschen während des Ätzvorgangs zu reduzieren. 4400B Ätzer/Ascher ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware zur Steuerung des Ätzprozesses ausgestattet. Es kann fortgeschrittene Prozesse wie anisotropes Ätzen und selektives Flächenätzen mit Präzision durchführen. Das Werkzeug kann auch eine Plasma-Dotierung durchführen, die zur Verbesserung der Mikrostruktur und der elektrischen Eigenschaften der Substratmaterialien verwendet werden kann. LAM RESEARCH 4400B Werkzeug verfügt über eine hohe Zuverlässigkeit Design, das es eine ideale Wahl für hohe Serien macht. Das Werkzeug ist so konzipiert, dass es 24/7 arbeitet und einen überlegenen Durchsatz liefert. Das Werkzeug ist auch für einfache Wartung mit einer modularen Plasmaquelle und niedrigen Betriebskosten konzipiert. 4400B Ätzer/Ascher ist eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsanwendungen. Es wurde entwickelt, um überlegene Prozessleistung zu bieten, ohne auf Qualität, Einheitlichkeit und Kosten zu verzichten.
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