Gebraucht LAM RESEARCH 4420 XL #9399006 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4420 XL etcher/asher ist eine kostengünstige Lösung für viele Ätz- und Aschebedürfnisse. Diese Ausrüstung ist in der Halbleiter- und MEMS-Industrie für Ätz- und Ascheprozesse weit verbreitet. Es ist in der Lage, bis zu 6 Zoll (150 mm) Wafer mit einem maximalen Druck von 100 Torr zu verarbeiten. Die Ätzgeschwindigkeit und -genauigkeit sind auch für ein kostengünstiges System sehr beeindruckend, da es geätzt werden kann und bei hohen Geschwindigkeiten von 300 mm/min mit einer normierten Endpunktgenauigkeit von ± 0,003 Zoll (0,08 mm) pro Wafer. LAM RESEARCH 4420XL ist eine modulare Einheit, die durch die Auswahl bestimmter Teile wie Gasquellen, Gasversorgungssysteme und Kammern auf die spezifischen Bedürfnisse der Anwender zugeschnitten werden kann. Die Maschine ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Gasen wie SF6, CF4, O2, CF4/O2, Ar und HBr zu ätzen und zu aschen. Es verfügt auch über mehrere fortschrittliche Ätztechnologien wie RIE, Magnetron und OBIRCH, so dass Benutzer das Tool an ihre spezifischen Prozessanforderungen anpassen können. 4420 XL enthält auch eine Reihe fortschrittlicher Prozesskontrolltools, einschließlich Autotuning und Substratmatching, die dazu beitragen, dass Prozessrezepte optimiert werden. Das Asset enthält auch zwei Diagnosetools, mit denen Benutzer den Ätz- und Ascheprozess überwachen können, einschließlich eines Endpunktdetektors und eines In-situ-Gasanalysators. 4420XL verfügt auch über viele Sicherheitsmerkmale, darunter ein HF-Verriegelungsmodell, das die Bearbeitung von Wafern verhindert, wenn bestimmte Bedingungen nicht erfüllt sind. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen Not-Aus-Knopf und ein integriertes Vakuum-Power-Control-Modul, das hilft, sicherzustellen, dass kein Prozess durchgeführt wird, es sei denn, das System ist bereit und sicher. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4420 XL eine ausgezeichnete Ätz-/Aschereinheit und eine zuverlässige und erschwingliche Option für viele Ätz- und Aschebedürfnisse.