Gebraucht LAM RESEARCH 4420 #199860 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4420 ist ein Ätzer/Ascher für chemische Dampfabscheidung (CVD) und Ätzprozesse. Es verfügt über vier gleichzeitige Kammern, die es Anwendern ermöglichen, zwei Ätz- und zwei Abscheidungsprozesse durchzuführen, für eine effiziente chemische Verarbeitung. Dieses Modell eignet sich für eine breite Palette von Ätz- und Abscheideprozessen, darunter Metalle, Kunststoffe, Keramik und Klebstoffe. 4420 bietet eine vielseitige und benutzerfreundliche Oberfläche, mit der Benutzer die Geräte einfach programmieren, überwachen und steuern können. LAM RESEARCH 4420 Ätzer/Ascher ist mit Zweifach-Ringkammern und RF/DC-Netzteilen ausgestattet, so dass Benutzer eine Vielzahl von Plasmaeigenschaften erzeugen können, die ihren Anwendungsanforderungen entsprechen. Die Kammer hat die Fähigkeit, Wafergrößen größer als 6 "aufzunehmen, was eine größere Abscheidungsfläche ermöglicht. Das Modell hat eine Temperaturfähigkeit von bis zu 450 ° C und kann mit einer Reihe von Prozessgasen verwendet werden, einschließlich Ar, N2, Sauerstoff, SF6 und CH4. Das Modell ist mit einer Ladeschloßkammer ausgestattet, die das automatische Be- und Entladen von Wafern aus der Kammer ermöglicht. Diese Funktion reduziert die Be- und Entladezeiten und verbessert die Produktivität. 4420 verfügt zudem über ein einzigartiges Zwei-Maschinen-System, mit dem zwei Wafer-Chargen unabhängig voneinander mit separaten Rezepturen verarbeitet werden können. Dies gibt den Betreibern mehr Kontrolle und schafft mehr Flexibilität für ihre Produktionsanforderungen. LAM RESEARCH 4420 wird von der LAM RESEARCH Process Expert Unit (XPES) Software Suite unterstützt, die die Bedienung der Maschine vereinfachen soll. Anwender können ihre Prozesse einfach über die XPES-Software programmieren und überwachen und ihnen die Kontrolle über ihre Rezepte, Einrichtungszeiten und Prozessbedingungen geben. XPES bietet auch eine Reihe von Diagnose- und Berichtsfunktionen, so dass Benutzer alle Werkzeugprobleme schnell identifizieren und sie entsprechend beheben können. Die XPES-Software ist zudem mit einer Reihe branchenüblicher Datenformate und Betriebssysteme kompatibel und eignet sich somit ideal für die Integration in ein bestehendes Netzwerk. 4420 wurde entwickelt, um eine zuverlässige Ätz- und Abscheidelösung bereitzustellen, die einfach zu programmieren und zu steuern ist. Die Doppelkammer-Konstruktion und hocheffiziente Prozesskammern bieten Anwendern eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl und unterstützen ein breites Anwendungsspektrum. Die benutzerfreundliche XPES Software-Suite vereinfacht die Bedienung des Modells und ermöglicht es Anwendern, Probleme schnell zu erkennen und schnell und mit hochwertigen Ergebnissen zu reagieren.