Gebraucht LAM RESEARCH 4420 #9137679 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4420
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4420
ID: 9137679
Poly silicon etcher.
LAM RESEARCH 4420 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der die höchsten Anforderungen an die Geräteherstellung erfüllt. 4420 ist eine voll ausgestattete Ausrüstung mit einer integrierten Plattform, die eine Prozesskammer, eine Abgaskammer und alle notwendigen Komponenten für Prozesssteuerungsoperationen beherbergt. Mit LAM RESEARCH 4420 können Anwender Muster auf Substraten erstellen, ohne Material physikalisch zu maskieren oder abzulegen. Damit ist 4420 ein vielseitiges Werkzeug für alle Fertigungsstufen, vom Prototyping bis zur Fertigung. Die LAM RESEARCH 4420 Prozesskammer enthält zahlreiche Merkmale, die ein genaues Ätzen von Substraten gewährleisten sollen. Die Kammer ist mit einer Hochtemperaturtoleranz ausgelegt und eine CCD-Kamera zur Echtzeit-Prozessüberwachung und -analyse enthalten. Es können zwei getrennte Prozesse gleichzeitig durchgeführt und die Kammer für optimales Halbleitervakuum abgedichtet werden. 4420 enthält ausgeklügelte Steuerungssysteme und Prozessgase. Das Steuerungssystem besteht aus einer computergesteuerten Plattform, die die Plasmaprozessparameter und die Durchflussraten von Prozess- und Spülgasen reguliert. Die mit dieser Einheit eingesetzten Prozessgase umfassen Fluorkohlenwasserstoffe, Chlor, Fluor und Sauerstoff sowie weitere Elemente für nahezu jede Ätzanwendung. LAM RESEARCH 4420 Ätzer/Ascher ist auch mit fortschrittlichen Abgasanlagen ausgestattet. Dies reduziert die Partikel- und chemische Verschmutzung durch die Abgasmaschine und minimiert die Freisetzung von Gefahrstoffen in die Umwelt. Ein effektives Sicherheitsmerkmal von 4420 ist der Induktionsofen, der vor allen Prozessen zum Abbrennen von Wafern verwendet wird. Dadurch wird sichergestellt, daß alle Restfolien vor Beginn des Ätzvorgangs vollständig entfernt werden. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug auch über eine Übertemperaturabschaltung, die den Vorgang stoppt, wenn die Wafertemperatur auf ein gefährliches Niveau ansteigt. LAM RESEARCH 4420 Ätzer/Ascher bietet überlegene Präzision und Kontrolle im Ätzprozess. Seine Hightech-Komponenten sorgen für ein qualitativ hochwertiges Produkt, seine Sicherheitsmerkmale schützen sowohl den Bediener als auch die Umwelt und die Abgasanlage hält die Atmosphäre sauber. Dieses Modell ist daher eine ideale Wahl für alle Ebenen der Geräteherstellung.
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