Gebraucht LAM RESEARCH 4420 #9198093 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcher ist ein Hochleistungs-Trockenätzsystem, das für optimale Wiederholbarkeit, Prozesskontrolle und Durchsatz entwickelt wurde. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, einschließlich Hochgeschwindigkeits-Thermokontrolle, Ätzratenkontrolle und In-situ-Reinigungsfähigkeit. Es bietet auch die Flexibilität der automatisierten Bedienung und Prozessflexibilität für mehrere Anwendungen. 4420 ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten aus Glas, Polyimid und Halbleiterscheiben usw. zu verarbeiten. Es ist mit einem fortschrittlichen Quarzätzrohr ausgestattet, das überlegene Temperatur, Druck und einheitliche Strömungssteuerung bietet. Die fortschrittlichen Ätzmechanismen wie Dual-Plasma-Modus, variable Frequenz-Leistungsregelung und lange Impulsdauer für tiefe Ätzungen ermöglichen größere Prozessfähigkeiten als einstufiges Ätzen. Das Mehrkammerdesign von LAM RESEARCH 4420 ermöglicht sowohl anisotropes als auch isotropes Ätzen. Der anisotrope Ätzmodus nutzt einen dreistufigen Ätzprozess mit einer überlegenen Ätzratensteuerung. Es verfügt auch über eine optimierte Kammerkonstruktion, um eine konstante Ätzleistung zu gewährleisten. 4420 verfügt auch über ein automatisiertes Reinigungssystem mit CFC-freiem Fluid, das eine hohe Wiederholbarkeit, Prozesskontrolle und Durchsatz gewährleistet. Es ist mit einem effektiven Vakuumsystem mit gleichmäßiger in der gesamten Prozesskammer ausgestattet. Darüber hinaus wird LAM RESEARCH 4420 durch Software unterstützt, die eine Datenerfassung, Ferndiagnose und Programmierung von Rezepten für mehrere Anwendungen ermöglicht. Es verfügt auch über eine komplette Reihe von Sensoren und Diagnostika, die eine optimale Prozesskontrolle und Qualitätssicherung ermöglichen. Insgesamt ist 4420 ein leistungsstarker, kostengünstiger Ätzer/Ascher mit fortschrittlichen Funktionen, die Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht es eine schnelle Prozessflexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und einem umfassenden Kundensupport.
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