Gebraucht LAM RESEARCH 4420 #9262592 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4420 ist ein einzelner Wafer, Batch-Ascher oder Ätzer, der für Hochdurchsatz, flexible Produktions- oder Forschungsprozesse entwickelt wurde. 4420 Plattform ermöglicht Ätzraten von bis zu 15 nm/min und ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von spezialisierten Ätzprozessen durchzuführen, einschließlich Ionenstrahlätzen, Schwarzsiliziumätzen, Resiststreifen und Oxidätzen. Es bietet erweiterte Prozesskontroll- und Überwachungsfunktionen und ist auf Präzision, Zuverlässigkeit und Prozessreproduzierbarkeit ausgelegt. Die Ausrüstung besteht aus mehreren primären Komponenten; eine kompakte Vakuumkammer, ein Multi-Gas-Zufuhrsystem, eine Sichtleitungseinheit, eine Suszeptor-Rotationsmaschine und eine Steuerung. Die Vakuumkammer ist aus Materialien wie Edelstahl und Aluminium aufgebaut, die für ihre Anwendung thermisch und strukturell optimiert sind. Das Kammerdesign ist auf das RIE (Reactive Ion Etch) -Verfahren ausgerichtet und umfasst sowohl eine primäre als auch eine sekundäre Ätzstufe für einen höheren Durchsatz. Das Mehrgasförderwerkzeug ermöglicht den Einbau mehrerer Gase in den Ätzprozess. Dies ermöglicht mehr Flexibilität bei der Definition komplexer Prozessrezepte. Es ermöglicht auch höhere Ätzraten als mit einzelnen Gasprozessen erreicht werden können. Das Vision-Asset ist ein optisches Mikroskop mit eingebauter Vision-Hardware, das den Ätzprozess in Echtzeit überwacht und Prozessrückmeldungen bereitstellt, um Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Suszeptor-Rotationsmodell verwendet einen bürstenlosen Gleichstrommotor mit variabler Drehzahl und einen RS-485 Controller, um die Gleichmäßigkeit der Ätzrate über den Wafer zu optimieren. Der Controller ist das Gehirn der Ausrüstung und ist verantwortlich für die Steuerung der Prozessvariablen und liefert genaue und wiederholbare Ergebnisse. Es verfügt über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche, eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche und eine Ethernet-Verbindung für den Fernzugriff und den Datenabruf. LAM RESEARCH 4420 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine Vielzahl von Ätzprozessen mit Präzision, Zuverlässigkeit und Prozesswiederholbarkeit durchführen kann. Der hohe Durchsatz und die flexiblen Prozessrezepte machen es zu einem idealen Werkzeug für Serien- und Forschungsanwendungen.