Gebraucht LAM RESEARCH 4420 #9401523 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4420 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches Ätz- und Reinigungsprozesswerkzeug zur Herstellung perfekter Profile und Oberflächen für empfindliche Halbleitersubstrate. Das hocheffiziente, kostengünstige System verfügt über mehrere Plasmaquellen, Präzisionssubstrathandhabung, Substratkonditionierung sowie Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. 4420 Ätzer/Ascher ist speziell entwickelt, um Lösungen für die Herstellungsprobleme durch die Skalierung von Generationenkomplexitäten in den Halbleiterbauelementbereichen bereitzustellen. LAM RESEARCH 4420 Ätzer/Ascher verwendet ein Zweikammer-Design mit separaten reaktiven Ionenätzen (RIE) und entfernten Plasma-Reinigungskammern (RPC). Dies bietet Benutzern eine Vielzahl von Prozessoptionen, so dass sie Prozessparameter so abstimmen können, dass sie eine Vielzahl von Anwendungen optimal ausführen können. Die Prozesskammer besteht aus einem Polysilizium-Körper und Deckel, Edelstahl-Auskleidung und Quarz-Suszeptor, mit Titan beschichteten Elektroden. 4420 ist ein Niederdruckwerkzeug, das im Bereich von 0,2 - 0,4 mTorr Basisdruck arbeitet. LAM RESEARCH 4420 bietet auch eine fortschrittliche Steuerung von Prozessparametern und Rezeptentwicklung für Endentwickler. Prozessrezepte können angepasst werden, um spezifische Anforderungen für jede bestimmte Anwendung zu erfüllen. Die fortschrittliche Systemsteuerung in 4420 ermöglicht eine präzise Steuerung von Ätzselektivität und -rate, Ätztiefe und -profil, Angriffswinkel und Zieloberflächengüte. Die RPC-Kammern in LAM RESEARCH 4420 ermöglichen schadensarme Ätz- und Reinigungsprozesse für Dielektrika und Materialien mit einem optionalen Endpunktdetektor zur verbesserten Prozesssteuerung. 4420 bietet auch dem Benutzer einzigartige Vorteile. Vorteile sind die niederenergetische Pulsation und schnelle Temperaturregelung, die eine bessere Temperaturgleichförmigkeit in der Prozesskammer und verbesserte Ausbeuten ermöglichen. LAM RESEARCH 4420 ist auch kompatibel mit einer breiten Palette von Rezepten, und die einfache Benutzeroberfläche macht die Entwicklung von benutzerdefinierten Rezepten einfach. 4420 ist ein vielseitiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der eine breite Palette von Prozessfähigkeiten bietet. Dieses fortschrittliche System gewährleistet präzise, wiederholbare Ätz- und saubere Leistung auf höchstem Niveau und bietet Anwendern einwandfreie Prozessergebnisse und niedrigere Betriebskosten.