Gebraucht LAM RESEARCH 4428B #9302933 zu verkaufen
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ID: 9302933
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
ENI 650 Generator
ENI Generator rack
No clamp type.
LAM RESEARCH 4428B ist eine einzigartige IO-Ätz-/Aschermaschine, die Hochleistungsverarbeitung und erweiterte Ätzfunktionen kombiniert. 4428B ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Herstellung und Wartung von Halbleiterbauelementschichten, das sowohl im Nassätz- als auch im Trockenätzverfahren eingesetzt wird. LAM RESEARCH 4428B verfügt über ein einzigartiges Doppelkammerdesign und bietet sowohl Nassätz- als auch Trockenreinigungsfunktionen. Durch den bewährten PR4000 Controller verbessert, bietet er vollständige Ausrichtungs- und Registrierungsgenauigkeit. Ein optionales Kühlsystem ist sowohl für den Chargen- als auch für den manuellen Betrieb verfügbar, und ein Stickstoffleitungsanschluss ist für Inertatmosphäre-Ätzprozesse enthalten. Das Gerät kann manuell oder automatisiert betrieben werden und eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche sorgt für eine benutzerfreundliche Bedienung. Die Maschine ist auf optimale Effizienz ausgelegt, mit präziser IVC (In-Valve Control) -Wäsche und Echtzeit-Ätzüberwachung für eine hervorragende Prozesssteuerung. Kammern sind aus hochwertigem, korrosionsbeständigem Edelstahl hergestellt, der leicht zu reinigen und zu warten ist. Es ist auch mit einem Hochleistungsförderwerkzeug ausgestattet, das bis zu 5 Platten-Positionierer mit automatischer Ladefähigkeit versorgt. 4428B umfasst eine Reihe branchenüblicher Sicherheitsmerkmale zur Gewährleistung der Sicherheit des Personals, einschließlich einer umfassenden Erdungsschaltung, automatischer Kammerreinigungsfunktionen und einer Drucküberwachungsanlage. Ein Datenverwaltungsprogramm ist integriert, das Prozessaufzeichnungen bereitstellt und bis zu 500 Waferrezepte speichert. LAM RESEARCH 4428B ist die perfekte Lösung für hochvolumiges, hochpräzises Ätzen. Es bietet zuverlässige Leistung, zuverlässige Sicherheitsfunktionen und erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen in kompakter Bauweise. Es ist das ideale Werkzeug für die sich heute schnell entwickelnde Halbleiterindustrie.
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