Gebraucht LAM RESEARCH 4450 #9226299 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4450
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4450
ID: 9226299
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1990
Etcher, 5" 1990 vintage.
LAM RESEARCH 4450 ist ein Ätzer/Ascher zum tiefen anisotropen Ätzen von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis in Halbleitermaterialien. 4450 ist ein Allzweckätzer/Ascher, der sowohl in nassen als auch in trockenen Prozessen ätz- oder aschefähig ist. Es verfügt über einen digitalen Quarzregler und Hochleistungs-Hochfrequenzgenerator zur präzisen Steuerung von Prozessparametern und eine Vielzahl von Prozesschemien zur Auswahl. LAM RESEARCH 4450 bietet mehrere Vorteile gegenüber manuellen Ätz- oder Ascheprozessen, darunter hohe Wiederholbarkeit, präzise Steuerung und Flexibilität. Es wurde entwickelt, um ein einzelnes Werkzeug mit allen notwendigen Funktionen zu sein, um die meisten Halbleitermaterialien, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und Indiumphosphid, zu ätzen oder zu aschen. 4450 ist auch in der Lage, Materialien wie Metalle, Keramik und Glas zu ätzen. LAM RESEARCH 4450 verfügt über ein kompaktes Design mit einem einzigen kompakten Intrusionsgerät, das enge Konstruktionsprozesse ermöglicht. Es ist auch mit einem mikroprozessorbasierten Controller ausgestattet, der eine Überwachung und Parametereinstellung der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. 4450 verfügt außerdem über eine integrierte Abgasanlage zur Handhabung etwaiger Gas- oder Aerosol-Nebenprodukte des Prozesses sowie über eine Vakuumpumpe zur Evakuierung der Kammer zwischen den Durchläufen. Das Hauptmerkmal von LAM RESEARCH 4450 ist der Hochleistungs-HF-Generator, der eine präzise und wiederholbare Steuerung von Ätz- und Ascheparametern ermöglicht. Es kommt mit einer Vielzahl von Prozess-Chemikalien, die zum Ätzen oder Aschen in nassen und trockenen Prozessen verwendet werden können. Die Parameter wie Frequenz, Pulsbreite und Tastverhältnis können für eine hervorragende Prozesssteuerung präzise eingestellt werden. 4450 ist ein vielseitiges Werkzeug zum Ätzen oder Aschen von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis in einer Vielzahl von Materialien. Seine kompakte und präzise Bauweise macht es zu einer zuverlässigen Wahl für tiefes anisotropes Ätzen und Aschen. Die digitale Steuerung und der HF-Generator ermöglichen eine präzise Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen und die Vielzahl an Chemien bieten volle Flexibilität für ein breites Anwendungsspektrum.
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