Gebraucht LAM RESEARCH 4500 #293600180 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500 ist eine fortschrittliche Ätz-/Asper-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um effizient eine Vielzahl von geätzten Mustern auf Halbleitersubstraten mit Präzision und Genauigkeit zu erzeugen. Dieses Ätzsystem ist mit einer fortschrittlichen Gasfördereinheit ausgestattet und kann eine Vielzahl von Gasen unterstützen, einschließlich SF6, O2, C4F6, NF3 und C3F8. Es umfasst auch eine Lastschloßkammer und eine Reinigungskammer vor Ort sowie eine Plasmaquelle, die es dem Benutzer ermöglicht, Ätzvorgänge in einem einzigen Arbeitszyklus durchzuführen. Die Maschine verfügt über eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich In-situ-Reinigung, Plasmaaktivierung, Ätzen und Oberflächenpassivierung. Dies ist auf seinen großen Heizbereich von -70 ° C bis + 300 ° C zurückzuführen, wodurch er für verschiedene Materialien wie Si, SiO2, GaAs und InP geeignet ist. Darüber hinaus bietet es eine feine Kontrolle über Ätzparameter wie Temperatur, RIE (Reactive Ion Etching) Leistung, Kammerdruck und Zeit, wodurch präzise geätzte Merkmale mit gut kontrollierten Seitenverhältnissen erzeugt werden können. 4500 bietet dank seiner Hochdurchsatz-Lastschloßkammer einen ausgezeichneten Waferdurchsatz und ist somit für Serienumgebungen geeignet. Dieses Tool bietet außergewöhnliche Sicherheit und Umweltschutz, da es mit einer Vielzahl von Sicherheitsmechanismen ausgestattet ist, einschließlich einer On-Board-Drucküberwachung und einem Auto-Purge-Modell. Es umfasst auch ein integriertes Wafer-Inspektionsmodul und eine isolierte Düse zur Reduzierung prozessinduzierter Partikel. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 4500 eine umfangreiche Prozessanalyse und Datensteuerung, die es Anwendern ermöglicht, den Ätzprozess feinabzustimmen und die Ergebnisse in Echtzeit zu überwachen. Eine optionale Wi-Fi-Verbindung ermöglicht den Fernzugriff und die Steuerung der Geräte, während ein integriertes Touchscreen-Display die direkte Interaktion mit dem Ätzprozess ermöglicht. Dies ermöglicht es, Parameter schnell und einfach zu ändern und Ergebnisse zu überwachen, wodurch die Effizienz der End-to-End-Prozesse verbessert wird. 4500 bietet eine zuverlässige und kostengünstige Ätz-/Asperlösung für eine Vielzahl von Produktionsumgebungen. Das fortschrittliche Design, die Prozessfähigkeit und die Sicherheitsfunktionen machen es zu einer idealen Wahl für Ätz- und Passivierungsoperationen.