Gebraucht LAM RESEARCH 4500 #9092962 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4500
ID: 9092962
Wafergröße: 6"
Oxide etchers, 6".
LAM RESEARCH 4500 ist eine Nassätz-/Ascheausrüstung ist eine vielseitige und hochqualitative Maschine, die den Anforderungen einer breiten Palette von Ätz- und Ascheanwendungen gerecht werden kann. Das System ist ideal für die Herstellung von Photomasken und Retikeln, MEMS und integrierten Schaltungen (IC). Die Einheit ist mit einer geschlossenen, automatisierten Prozesskammer sowie einem integrierten Quarzgefäß aufgebaut. Dadurch wird sichergestellt, dass die Temperaturen, Drücke und Ätz-/Aschechemien während des gesamten Prozesses präzise bleiben. Dieser ausgeklügelte Closed-Loop-Prozess trägt auch dazu bei, dass die Prozesswiederholbarkeit hoch bleibt und 4500 zu einer zuverlässigen Präsenz in jeder Produktionslinie wird. Der Prozess kann auf die genauen Spezifikationen des Kunden abgestimmt werden, so dass höhere Durchsatzanforderungen für eine Vielzahl von Anwendungen erfüllt werden können. LAM RESEARCH 4500 Ätzer/Ascher wurde mit einer Reihe von Funktionen entwickelt, um die Prozesskonsistenz und -leistung zu verbessern. Es verfügt über separate isolierte Gasfördersysteme für pneumatisch gesteuertes Ätzgas und Spülgas sowie eine Flüssigkeitsfördermaschine zur präzisen Temperaturregelung über den Ätz-/Spülvorgang. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Ätz-/Aschezyklus so exakt und zuverlässig wie möglich ist und es den Kunden leichter macht, die genauen Ergebnisse zu erzielen, die sie benötigen. Darüber hinaus nutzt das Tool eine Reihe fortschrittlicher integrierter Diagnosewerkzeuge, um eine schnelle und einfache Prozessüberwachung zu ermöglichen. Dies trägt dazu bei, dass der Ätz-/Ascheprozess während der gesamten Produktion präzise und wiederholbar bleibt. Zum Asset gehört auch ein Hochfrequenzspulenmodell, mit dem Kunden präzise Anpassungen vornehmen können, um die idealen Ergebnisse für jeden Ätz-/Ascheprozess zu gewährleisten. Insgesamt sind 4500 Ätzer/Ascher eine vielseitige und zuverlässige Ätz-/Aschemaschine, die sich ideal für eine Reihe von Anforderungen an die Herstellung von Photomasken und Retikeln, MEMS und IC-Produktion eignet. Es verfügt über präzise Prozesssteuerung, überlegene Prozessüberwachung und sehr anpassbare Prozesseinstellungen, so dass es eine gute Wahl für jede Produktionslinie.
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