Gebraucht LAM RESEARCH 4500 #9226300 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 4500 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die für das isotrope und anisotrope Ätzen von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist ein modernes Gerät, das fortschrittliche Technologien wie Robotik und nasschemische Prozesse beinhaltet. Mit einer Kammergröße von 36 "und einer Leistung von 500 Watt ist 4500 für eine hervorragende Leistung in einer Vielzahl von Produktionsumgebungen und Ätzanforderungen konzipiert. Das System verfügt über zwei Prozesskammern: die Vorätzkammer, in der Abscheidung und chemische Ätzungen durchgeführt werden; und die Ätzkammer, in der der Wafer in einem isotropen Ätzfeld angeordnet ist. Neben einer sicheren Umgebung für zuverlässiges Ätzen bietet das Gerät auch andere Komponenten wie die in-situ RF-Ätzquelle, die in-situ-Reinigungsmaschine, den Gaskrümmer und das automatische Wafer-Handhabungswerkzeug. Die Anlage ist für das Hochleistungsätzen von Siliziumscheiben sowie Galliumarsenid (GaAs) und anderen Halbleitern ausgelegt. Ätzprofile können angepasst werden, um Präzision, Geschwindigkeit und Komplexität zu optimieren. Durch den Einsatz automatisierter Prozesse und in-situ RF-Ätzquellen liefert das Modell die erforderliche Leistung und Zuverlässigkeit von Prozessingenieuren. LAM RESEARCH 4500 kann in einem Temperaturbereich von 250 ° C (482 ° F) bis 650 ° C (1202 ° F) laufen. Es verwendet auch fortschrittliche industrielle Bewegungssysteme, um genaue Ergebnisse zu liefern und wiederholbare Leistung zu bieten. Die Ausrüstung umfasst Keramik/Metall/Kunststoff-Kammern, um einer möglichen Verschmutzung des Wafers zu widerstehen. Schließlich bietet das umfassende Prozessüberwachungssystem von 4500 Zuverlässigkeit und Nachverfolgung für die Produktionsumgebung. Diese Einheit vereinfacht den Datenerfassungsprozess und ermöglicht eine schnelle und einfache Kommunikation zwischen dem Ingenieur und der Maschine. LAM RESEARCH 4500 bietet eine schnelle, genaue und zuverlässige Lösung für isotropes und anisotropes Ätzen von Halbleiterscheiben.
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