Gebraucht LAM RESEARCH 4500 #9311439 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500 Ätz-/Ascheausrüstung ist ein vollautomatisches, ultra-hochgenaues Ätz-/Aschesystem, das in der Lage ist, hochwertige Wafer mit einem einzigen Prozessschritt und Line-of-Sight-Wafer-Tracking zu produzieren. Das Gerät ist so konzipiert, dass es eine bemerkenswerte Flexibilität bietet und bis zu vier Verarbeitungsschritte innerhalb eines einzigen Prozesses abgeschlossen werden können. Die Maschine verfügt über zwei Arbeitsplätze, die jeweils eine geätzte ferromagnetische Materialquelle (EFMS) und eine elektrooptische Kammer enthalten, die eine hohe intraaxiale Platte enthalten, die eine Vielzahl von Verarbeitungsvorgängen durchführt, einschließlich chemischer Aufdampfung (CVD) und Atomschichtabscheidung (ALD). Es unterstützt rezeptbasierte Waferbearbeitung, einschließlich Standard-, High-Density und hierarchische Technologie, mit Temperaturen bis zu 30 ° F. Das Werkzeug verfügt außerdem über einen Endeffektor mit einem chemischen Spender und einem schnell wirkenden Steuerknopf, der eine schnelle und präzise Steuerung von Ätzzeit, Temperatur und Druck ermöglicht. 4500 Etch/Asche Asset nutzt eine einzigartige Kombination der Single-Prozessor, Micro-Scale-Ätzwerkzeuge und doppelseitige, optisch gesteuerte Wafer-Handhabung, um überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu bieten. Das Modell zeigt auch schnell Oblate-zu-Oblate-Übertragungsgeschwindigkeiten und eine flexible Front-End-Plattform, die effiziente und genaue Verarbeitung berücksichtigen. Die hohe Genauigkeit dieser Ausrüstung ist ein Ergebnis seiner Konzentration auf Dimensionsstabilität, Niveauregulierung Gleichmäßigkeit, Wärmemanagement, Sensorgenauigkeit und Prozesssteuerung. Dieses System ist ideal für Ätz-/Ascheprozesse, die eine hervorragende Konsistenz und Wiederholbarkeit sowohl für wiederholbare als auch für spezialisierte Prozesse erfordern. Es ist in der Lage, hochwertige, hochpräzise Waferprodukte mit Einzelprozess-Wiederholbarkeit herzustellen und ist die bevorzugte Einheit für Anwendungen, die eine hohe Genauigkeit und Überwachung erfordern.