Gebraucht LAM RESEARCH 4500i #9250092 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500i ist ein trockener Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es verwendet eine einzigartige Kombination von drei Ätztechnologien - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), Reactive Ion Etching (RIE) und Inductively Coupled Plasmas (ICP) -, um eine breite Palette von gewünschten Ätzprofilen auf Substraten zu erreichen. Dieses vielseitige Ätzwerkzeug kann für Graben und Kontaktätzen in Metalltoren, Spacer-Ätzen für STI, Damaszene und dielektrisches Ätzen für Leiterbahnen, Wafer-Trimmen und rückseitige Ätzanwendungen verwendet werden. 4500i ist für mehrere Wafergrößen bis 200 mm bei Substrattemperaturen bis 300 ° C geeignet. LAM RESEARCH 4500i ist ein außergewöhnlich fortschrittliches Ätzsystem mit vielen deutlichen Vorteilen. Es verfügt über ein umfangreiches Spektrum technischer Merkmale, darunter die Integration eines schnellen Quadrupol-Massenspektrometers (QMS), einer großen Quarzkammer mit einer maximalen Belastung von bis zu 26 Wafern und einer Vielzahl von Prozessgasen, die zum Ätzen zur Verfügung stehen. Das LCD-gesteuerte Multi-Gas Dynamic Supply System erhält optimale Prozessbedingungen für dynamische Prozesse und ein eingebauter Hochleistungs-schnell gekühlter Plasma (RPC) -Generator minimiert unerwünschte Leistungsüberschreitungen und maximiert die Prozesssteuerung. Darüber hinaus ist 4500i mit Piezo Tune-and-Lock (PTL) -Technologien für eine überlegene Prozesswiederholbarkeit bei hohen Seitenverhältnissen ausgestattet. LAM RESEARCH 4500i ist das führende Ätz-/Aschewerkzeug für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Seine beeindruckende Palette von Eigenschaften und Fähigkeiten bieten überlegene Prozessstabilität und Kontrolle, wodurch eine hochwertigere Geräteherstellung in einem kürzeren Zeitrahmen ermöglicht wird. Hochentwickelte Prozessüberwachung und lokale Abgasanlagen sorgen für sichere und saubere Verarbeitungsvorgänge. Mit seinem Multi-Gas-Dynamikversorgungssystem und der Piezo Tune-and-Lock-Technologie ist 4500i eine unverzichtbare Ätz- und Aschelösung für die überlegene Geräteherstellung.