Gebraucht LAM RESEARCH 4500iB #9250093 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4500iB ist eine High-End-Ätz-/Aschermaschine, die für das hochpräzise Ätzen kleiner, präziser geometrischer Merkmale wie Kontaktfenster für integrierte Schaltungen ausgelegt ist. Das System ist mit einer Vielzahl von automatisierten Steuerungen und Optionen für den Ätzprozess ausgestattet. Das Gerät integriert eine horizontale Reaktorstufe mit einer einzigen Waferheizung und fortschrittlicher Steuerelektronik und Bewegungssteuerungssoftware. Die Maschine ist für dünne und dicke Folientechniken ausgelegt und kann für komplexe Seitenverhältnisse konfiguriert werden. Das Werkzeug unterstützt sowohl Vorder- als auch Rückseitenätztechniken mit einer breiten Palette von Ätzchemikalien, einschließlich CF4, Sauerstoff, Argon, CHF3 und Fluorwasserstoff. Das Asset verfügt über einen kleinen Platzbedarf und ein leichtes Design, wodurch es einfach in bestehende Fertigungslinien integriert werden kann. Die hochpräzise Bewegungssteuerung des Modells ist in der Lage, sowohl lineare als auch rotatorische Bewegungen mit bis zu 0,1 µm Auflösung und bis zu 1000 Schritten pro Sekunde zu steuern. Das System ist in der Lage, saubere, oxidfreie Oberflächen mit Ätztiefen bis zu 1 µm bereitzustellen. Für automatisierte Funktionen verfügt das Gerät über eine automatisierte Endpunkterkennungsmaschine, die den Ätzfortschritt überwacht und den Ätzvorgang bei vorgegebenen Ätztiefen oder anderen Prozessbedingungen stoppt. 4500iB verfügt auch über ein fortschrittliches Prozessüberwachungspaket, das aus zahlreichen Sensoren zur Überwachung von Prozessparametern wie Druck, Temperatur, Spannung und Leistung besteht. Diese Daten können zur sofortigen oder nachträglichen Inspektion erfasst werden. Das Werkzeug enthält auch ein automatisiertes Nullpunkt-Ausschalter-KE. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzvorgang bei einem Bruch der elektrischen Verbindung automatisch stoppt. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzvorgang nicht unbegrenzt fortgesetzt wird, wodurch eine thermische Schädigung des Wafers vermieden wird. Die Anlage ist außerdem mit einem automatisierten Wafer-Be-/Entlademodell ausgestattet, um einen schnellen und einfachen Waferaustausch zu ermöglichen. Schließlich verfügt das Gerät über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Bearbeitung und Überwachung von Prozessparametern ermöglicht. Dies ermöglicht schnellere Rüst- und Umrüstzeiten, wodurch der Eingriffsbedarf reduziert wird. Abschließend ist LAM RESEARCH 4500iB ein leistungsfähiges Ätz-/Aschersystem, das sich für das hochpräzise und automatisierte Ätzen kleiner geometrischer Merkmale eignet.