Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XL #293625775 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 XL ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher, der eine präzise und wiederholbare Verarbeitung fortschrittlicher mikroelektronischer Materialien ermöglicht. Es eignet sich für eine Vielzahl von Materialien und Verfahren, von piezoelektrischen Kristallen bis hin zu Verbundhalbleitern. LAM RESEARCH 4520XL bietet eine schnelle und effiziente Verarbeitung auf 6 „- oder 8“ -Wafern bis 200 mm, ohne Waferbruch, was einen ultrahohen Durchsatz ermöglicht, ohne auf Produktivität oder Wiederholbarkeit zu verzichten. 4520 XL verwendet fortschrittliche Ätz- und Aschetechniken, um eine robuste und wiederholbare Verarbeitung zu ermöglichen. Seine hochpräzisen Steuerungssysteme minimieren die Variabilität und bieten eine exakte Kontrolle über die Parameter, die eine gute Ätz- oder Ascheleistung bestimmen, wodurch wiederholbare Ergebnisse gewährleistet werden. 4520XL ist vollständig programmierbar, sodass Parameter einfach eingestellt, angepasst und an die Prozessanforderungen angepasst werden können. LAM RESEARCH 4520 XL verfügt über eine hochleistungsdichte Plasmaquelle für mehr Flexibilität bei Ätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt auch über variabel frequente Netzteile, die Spitzenleistungspegel bis zu 24kW liefern können, mit einem 0-1000V Quellspannungsbereich und einem 0-10A Quellstrombereich. Dieser Leistungsbereich ermöglicht schnelles, effizientes Ätzen und Aschen auch bei anspruchsvollen Materialien. LAM RESEARCH 4520XL ist mit einer hochpräzisen Positionssensorausrüstung ausgestattet, die die Genauigkeit der Probenposition beibehält, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Es umfasst auch ein effizientes Gasversorgungssystem und eine umfassende Gasverwaltungseinheit mit einer automatischen Lecksuchmaschine. 4520 XL ist auch mit einem automatisierten Reinigungswerkzeug ausgestattet, das mehrere saubere Zyklen bei minimalem Benutzereingriff ermöglicht. Diese Anlage verfügt auch über optionale Funktionen wie eine Quarzheizung, einen Wafer-Temperatursensor und eine programmierbare Waferdrehung für eine hochwertige Reinigungsleistung. 4520XL ist einfach zu bedienen und zu warten, mit klaren und verständlichen On-Board-Displays. Es ist als zuverlässiger und effizienter Ätzer und Ascher konzipiert, ideal für die Serienproduktion sowie für komplexere Forschungs- und Entwicklungsprozesse.