Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XL #9292773 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 XL
ID: 9292773
Etcher.
LAM RESEARCH 4520 XL Asher/Etcher ist ein hochentwickeltes Gerät für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Es ist eine Doppelkammer-Ausrüstung, perfekt für nasse und trockene Ätzprozesse. Typische Aufgaben dieses Systems können für Metallätzen, Diffusionsbearbeitung und Kristallätzen verwendet werden. Diese Einheit kann verwendet werden, um Silizium, Aluminium und andere Metalllegierungen mit sehr hoher Präzision und Genauigkeit abzuscheiden und zu ätzen. LAM RESEARCH 4520XL verwendet einen einzigartigen Plasmaprozess, um die Ätztiefen genau zu steuern und ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen. Seine ausgeklügelten eingebauten Fähigkeiten wie Plasma-Desmearing und Metallwiderstandsglühen erleichtern die Erstellung komplexer Produktstrukturen. Die Maschine verfügt zudem über ein flexibles Kammerdesign, das die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. 4520 XL verfügt über mehrere erweiterte Feedback- und Kontrollsysteme, die eine vollständige Prozessüberwachung ermöglichen. Dazu gehören die Echtzeit-Visualisierung physikalischer und chemischer Zustände von Wafern sowie die Möglichkeit, Prozesssimulationen in vollem Umfang durchzuführen. Dies erleichtert die Konsistenz bei jedem Ätzauftrag sowie schnellere Umlaufzeiten. Darüber hinaus verfügt 4520XL über ein integriertes laserbasiertes Bead-Profiling-Werkzeug zur Messung von Ätztiefe und -breite. Dadurch kann die Ätztiefe exakt gesteuert und das Substratprofil gegebenenfalls verbessert werden. Das Asset nutzt außerdem eine dreistufige Remote-Überwachungsfunktion, die es Benutzern ermöglicht, remote auf die In-situ-Daten des Modells zuzugreifen, was die Problembehandlung bei Prozessen erleichtert. LAM RESEARCH 4520 XL bietet zudem eine verbesserte Anpassung an Prozessänderungen sowie erweiterte Rezepturoptionen für die Feinabstimmung von Parametern bei jedem Auftrag. Dies hilft, Ätzprozesse zu optimieren und wertvolle Ergebnisse zu erzielen. Die Ausrüstung hat auch eine eingebaute Kantenausschlussfunktion, die dazu beiträgt, Zeit und Geld für die Kantenentfernung zu sparen. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4520XL ein hochentwickeltes Ätzsystem, das den strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit seinem robusten Design und seinen erweiterten Steuerungsfunktionen ermöglicht das Gerät schnelle und genaue Ergebnisse und ist somit ein wertvoller Vorteil für jeden industriellen Betrieb.
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