Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XL #9374770 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 XL ist eine Ätz-/Ascheausrüstung, die für modernes dielektrisches Ätzen und oberflächliche Waferreinigung verwendet wird. Es wurde entwickelt, um hochpräzise Ätz- und Reinigungsprozesse mit beispielloser Genauigkeit, Geschwindigkeit und Wiederholbarkeit durchzuführen. Dieses System ist mit vertikalen Linearstufen mit doppeltem Reibantrieb ausgestattet, um eine hohe Genauigkeit und konsistente Ausrichtung der Wafer während der Verarbeitung zu gewährleisten. Der Ätzer/Ascher ist mit einer optischen Einheit ausgestattet, die eine zuverlässige Prozessdatenanalyse und -steuerung ermöglicht. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH 4520XL in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten und eignet sich somit perfekt für Serienanwendungen. Der Ätzer/Ascher ist mit einem auf Wasserstoff basierenden Plasmagenerator ausgestattet und kann Ätz- oder Ascheoperationen auf Sauerstoffbasis durchführen. Der Generator ist mit einem elektrostatischen Spannfutter (ESC) ausgestattet, das die Wafer halten und genau positionieren und eine gleichmäßige Ätzqualität gewährleisten kann. Darüber hinaus verfügt der Generator auch über Enhanced Dielectric Etching (EDE), die hochpräzise Ätzfunktionen bietet. Darüber hinaus ist der Generator mit einer Substrate Radial Delivery Station (SRDS) ausgestattet, um ein optimales und konsistentes Wafer-Handling zu gewährleisten. Die Wafer können durch die Maschine mit einer maximalen Geschwindigkeit von 30 Wafern pro Stunde verarbeiten und werden einer kontinuierlich überwachten Quarztemperatur unterzogen, wodurch qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielt werden. 4520 XL wurde entwickelt, um überlegene Leistung für die spezifischsten Prozessanforderungen zu liefern. Es verfügt über eine integrierte, intelligente Prozesssteuerung mit einer gesamten Prozessablauffähigkeit. Es ist auch mit beispiellosen Diagnosefunktionen ausgestattet, so dass Benutzer ihre Werkzeugleistung maximieren können. Dieser Ätzer/Ascher kann auch problemlos in Batch-Prozessmanagementsysteme sowie Prozesswarteschlangen integriert werden. Die Anlage ist auch mit umfassenden Rezepterstellung und Management-Tools ausgestattet, um Benutzern zu helfen, Rezepte in einer Pro-Wafer oder Per-Lot-Mode zu erstellen und zu verwalten. 4520XL ist ein zuverlässiges, genaues und zuverlässiges Ätz-/Aschemodell, das qualitativ hochwertigste Ergebnisse liefert und gleichzeitig eine optimale Effizienz zu einem sehr wettbewerbsfähigen Preis bietet. Es ist ideal für hochpräzise sowie serienreiche Anwendungen in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiter-, Solar- und Festplattenherstellung.