Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XLE #293825710 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 XLE ist ein Ätzer/Ascher, der für eine optimale Leistung in einer Vielzahl von Halbleiterätz- und Ascheanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät unterstützt eine breite Palette von Substraten und ist kompatibel mit vielen der bestehenden Chemien und Werkzeugoptionen in der Industrie. 4520 XLE Ausrüstung ist für schnellen Durchsatz ausgelegt, mit einer typischen Zykluszeit zwischen zwei und fünf Minuten, so dass es bis zu 500 Wafer pro Stunde zu bearbeiten. Das System kann mit einer Vielzahl von Gasen wie CF4, SF6, NF3, O2 und anderen Chemikalien betrieben werden. LAM RESEARCH 4520 XLE ist aus robusten Komponenten aufgebaut, um eine stabile Leistung während seiner gesamten Lebensdauer zu gewährleisten. Es verwendet eine horizontal montierte elektro-polierte Edelstahlkammer und Quarzduschköpfe für überlegene Ätzgleichmäßigkeit. Der Ätzer ist mit einem zentralen Bedienfeld verbunden, das die Konfiguration und Steuerung der Ätz- und Ascheparameter einschließlich Temperatur, Druck, Gasstrom und Wafer-Vorspannung ermöglicht. Das Gerät umfasst auch Sicherheitsmerkmale wie Kammertemperatur- und Drucksensoren, Gasabsperrventile und eine Verriegelungsmaschine. 4520 XLE verfügt über eine schnelle Reinigungs- und Wafer-Ladestation, mit der Ausfallzeiten minimiert und Lösungsänderungen schnell und einfach vorgenommen werden können. Die Kammer kann schnell evakuiert werden und das Werkzeug kann aufgrund seiner automatischen Asset-Diagnose und Fehlerbehebungsprozesse mit minimalen Ausfallzeiten gewartet werden. Das Modell wurde entwickelt, um eine minimale Kontamination zu erzeugen, was es zu einer guten Wahl für kritische Ätz- und Ascheanwendungen macht. LAM RESEARCH 4520 XLE ist eine vielseitige und zuverlässige Ausrüstung, die sich sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen eignet. Es verfügt über überlegene Leistung, robuste Konstruktion und einen schnellen und einfachen Wartungsvorgang. Das Gerät ist zuverlässig und effizient gebaut und bietet eine stabile und stabile Plattform für optimale Ätz- und Ascheergebnisse.