Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XLE #9172983 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 4520 XLE ist eine extrem zuverlässige Ascher-/Ätzausrüstung. Dieses System eignet sich perfekt für Anwendungen wie Halbleiterherstellung, medizinische Bauelemente, Automobilsensoren und optische Bauelemente. 4520 XLE bietet sowohl Flexibilität als auch die Möglichkeit, mehrere Prozessbereiche abzudecken. LAM RESEARCH 4520 XLE bietet eine benutzerfreundliche Erfahrung mit seinem niedrigen, offenen Architekturdesign, das Einzelwafer-, mittelgroße Batch- und großflächige Prozessrezepte ermöglicht. Das Gerät verfügt über einen Mehrkammerbetrieb, der es Anwendern ermöglicht, aktiv zwischen Asche, In-situ-Messtechnik und anderen Prozessen zu wechseln. Die Maschine verfügt zudem über eine einfach zu konfigurierende elektrische Simulatorplattform, die sie hocheffizient und präzise macht. 4520 XLE bietet überlegene Produktivität mit einem Inline-Nassätzverfahren und der Fähigkeit, bis zu 8 Wafer pro Kassette für die Chargenverarbeitung zu handhaben. Das Tool ist in der Lage, mit seinem einzigartigen integrierten Scan-Aligner-Asset 100% Auslastung zu erreichen, die es ermöglicht, die Ätzfläche kontinuierlich zu überwachen und zu reinigen. Das Modell beinhaltet auch ein vorab geplantes Kammerkomponentenlayout, das einen einfachen Kammerzugang gewährleistet. LAM RESEARCH 4520 XLE ist sehr zuverlässig und bietet mit seiner PVD-abgeschiedenen Keramikbeschichtung eine langfristige Lebensdauer. Diese Beschichtung ist korrosionsbeständig und wird nicht durch lange Exposition gegenüber rauen Chemikalien beeinflusst. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein automatisiertes Wafer-Lastschloss und ein luftdichtes Durchstechsystem, das das Risiko einer Kammerverweigerung durch versehentliches Einschließen reduziert. Darüber hinaus verfügt 4520 XLE über eine integrierte Diagnoseeinheit, die Echtzeitleistungsanalysen und Prozessfehleranalysen anbietet. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen modularen Aufbau und eine leistungsstarke Analysesuite, mit der Benutzer die Werkzeugleistung und Prozesstrends konfigurieren und überwachen können. Die integrierte Analyseplattform bietet eine komplette Palette von Prozess- und Ausstattungsdaten in Echtzeit. Abschließend ist LAM RESEARCH 4520 XLE eine äußerst zuverlässige Aschen-/Ätzanlage, die überlegene Prozessflexibilität und Produktivität bietet. Das Modell verfügt über einen modularen Aufbau, eine fortschrittliche Diagnose und eine leistungsstarke Analyseplattform, mit der Benutzer die Geräte genau und effektiv überwachen und konfigurieren können. Dieses System ist perfekt für verschiedene Anwendungen, einschließlich Halbleiterherstellung, Medizinproduktekomponenten, Automobilsensoren und optische Komponenten.
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