Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XLE #9173004 zu verkaufen
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ID: 9173004
Lot of spare parts
Qty Part number Description
(2) 796-093088-005 Gate valve controllers
(3) - Silicon edge rings
(5) - Quartz baffle rings
(5) - Quartz keyed stepped rings
(4) 715-011622-101 LAM 4pin lifts
(10) - Screw flat heads, NYL, ¼-‐20 x 1-‐1/4
(2) - Upper silicon electrodes.
LAM RESEARCH 4520 XLE ist ein Premium-Etch-Dual-Magnetron-Ätzer/-Ascher, der speziell für die Verarbeitung fortschrittlicher Logikgeräte entwickelt wurde. Das System bietet zwei Verarbeitungskonfigurationsoptionen: Batch-Prozess oder semi-kontinuierlicher Prozess. Die Maschine ist für die Verarbeitung sowohl vollständig geätzter als auch teilweise geätzter Schichten in fortgeschrittenen Geräten ausgelegt. Der Batch-Prozess des Ätzers eignet sich hervorragend für die fortschrittliche Gerätebearbeitung und bietet überlegene Einheitlichkeit, Atom-Mobilität und vollständige Prozesskontrolle über die gewünschten Ergebnisse. Das System ist mit einem automatisierten, gepulsten, Dual-Magnetron-Ätzer und Ascher konfiguriert, die überlegene Pulseigenschaften und überlegene Gleichmäßigkeit liefern, einschließlich einer einstellbaren Zeit-Basis-Konfiguration, um das gewünschte Ergebnis zu gewährleisten. 4520 XLE enthält auch eine fortschrittliche Waferkassette, die einen komfortablen Zugriff auf die Wafer während der Verarbeitung bietet, wodurch sie effizienter und einfacher zu warten ist. Die Maschine ist äußerst zuverlässig und bietet im Vergleich zu anderen industriellen Ätzsystemen eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und -gleichmäßigkeit sowie eine verbesserte Prozessausbeute. Auch LAM RESEARCH 4520 XLE ist hochgradig konfigurierbar. Es ist mit modernsten Funktionen ausgestattet und bietet eine Vielzahl von anwenderwählbaren Prozessparametern, darunter Ätzrate, Druck und Polarität, Selektivität und Durchsatz. Die Maschine ist für eine schnelle und einfache Wartung ausgelegt und kann eine Reihe von Wartungswerkzeugen und Ersatzteilen aufnehmen. Darüber hinaus ist 4520 XLE mit erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die dazu beitragen, dass die Benutzerdaten gepflegt und sicher sind. LAM RESEARCH 4520 XLE ist die ideale Wahl für jedes fortschrittliche Gerätebearbeitungsprojekt. Seine zuverlässige Leistung, überlegene Einheitlichkeit und Prozesskontrolle sowie seine Fähigkeit, sowohl vollständig geätzte als auch teilweise geätzte Schichten zu verarbeiten, machen es zur idealen Lösung.
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