Gebraucht LAM RESEARCH 4520 XLE #9188552 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 4520 XLE ist ein Hochleistungsätz- oder -veraschungsgerät, das für den Einsatz in Forschungslabors und Produktionsstätten entwickelt wurde. Mit einer fortschrittlichen Dualplattenantriebsausrüstung bietet der XLE überlegene Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für das Ätzen bei niedrigen Temperaturen. Seine extreme Tieftemperatur-Ätzfähigkeit, kombiniert mit der Fähigkeit, ein variables Raten-Ätzen durchzuführen, macht es ideal für das Ätzen von Substraten für Forschungs- und Produktionsanwendungen. Eine intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht präzise Programmeinstellungen und Systemüberwachung, während die integrierte Echtzeit-Stickstoff (N2) -Steuereinheit die Prozesswiederholbarkeit gewährleistet. Die proprietäre Steuerungsmaschine XLE und die mehrstufigen Plasmasteuerungsalgorithmen ermöglichen eine präzise Ätzsteuerung. Seine mehrfachen Spannsysteme bieten eine präzise, feine Ausrichtung der Substrate beim Ätzen. Der XLE bietet mehrere Prüfstandsoptionen, so dass Benutzer das Werkzeug konfigurieren können, um Ätz- oder Ascheprozesse auf verschiedenen Substraten durchzuführen. Eine integrierte Datenerfassung und -überwachung ermöglicht es Benutzern, wiederholbare Bedingungen während des Ätzprozesses zu gewährleisten, während ein Lichtbogenerkennungsmodell die Sicherheit und Qualitätskontrolle während des Ätzens gewährleistet. Neben der dualen Plattenantriebsausstattung verfügt der XLE auch über mehrere zusätzliche Funktionen, die die Leistung maximieren. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Systeme und die integrierte Vakuumsteuerung sorgt für präzisen Druck und Strömung innerhalb der Kammer. Der XLE wird mit einer Hochleistungsinfrarotbildaufbereitungseinheit ausgestattet, genaue Temperaturkontrolle während des Prozesses berücksichtigend. Darüber hinaus bietet das XLE eine Ferndiagnosemaschine zur Überwachung der Bedingungen innerhalb der Kammer. 4520 XLE ist ein fortschrittliches Ätz- und Aschinstrument, das höchste Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Das fortschrittliche Dual-Plate-Drive-Tool ermöglicht eine präzise Ätzsteuerung und die integrierte Echtzeit-Stickstoff-Steuerung sorgt für Prozesswiederholbarkeit. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Systeme, während die Infrarot-Bildgebungs- und Lichtbogenerkennungssysteme eine genaue und sichere Ätzung gewährleisten. Das Ferndiagnosemodell bietet eine Echtzeitüberwachung der Kammerbedingungen und ermöglicht eine präzise Steuerung.
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