Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #131594 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher ist ein leistungsfähiges Mehrzweck-Ätz-/Aschesystem, das zum Abscheiden und Entfernen von Materialschichten entwickelt wurde, um sehr präzise Muster auf einseitigen und doppelseitigen Wafern zu erstellen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Dielektrika, Polymere und Keramik zu ätzen und zu aschen. 4520 besteht aus mehreren Prozesskammern, darunter ein Ätz-/Aschemodul, Quellensteuerung, Vorreinigungskammer und eine Nachreinigungskammer. Das Ätz-/Aschemodul ist mit einem Strahl reaktiver Chemie ausgestattet. Dieser Strahl, der von einer angetriebenen Strahllenkung angetrieben wird, ist aus mehreren Winkeln und Tiefen auf das Substrat gerichtet. Dies ermöglicht das kontrollierte, präzise Entfernen von Schichten aus dem Wafer bei hohen Produktionsraten. Das Quellensteuermodul ist eine einstellbare, entfernte Kammer, die einen Strom von Gasgemischen unterschiedlicher Kombinationen und Konzentrationen zum Ätz-/Aschemodul bereitstellen kann. Dies ermöglicht eine detaillierte Kontrolle des Ätz-/Ascheprozesses. Die Vorreinigungskammer wird verwendet, um Rückstände aus dem Substrat zu entfernen, bevor sie in das Ätz-/Aschemodul gelangt. Diese Kammer verwendet eine Kombination aus chemischen, hohen Temperaturen und mechanischen Prozessen, um sicherzustellen, dass der Wafer vor der Verarbeitung sauber ist. Die Nachreinigungskammer dient auch zur Entfernung von im Ätz-/Aschemodul zurückgelassenen Rückständen. Diese Fallenkammer verwendet eine Reihe von Filtern, um sicherzustellen, dass alle im Ätz-/Aschemodul verbleibenden Partikel oder Rückstände entfernt werden, bevor der Wafer verlassen wird. LAM RESEARCH 4520 ist ein anpassungsfähiges, präzises und zuverlässiges Ätz-/Aschesystem. Es verfügt über eine leistungsstarke Strahllenkung und eine präzise Mehrrichtungs- und Tiefenkontrolle des Strahls. Seine mehreren Prozesskammern bieten eine präzise Kontrolle der verwendeten Chemikalien sowie eine saubere Vor- und Nachbearbeitung. Das macht 4520 zu einem hocheffizienten und präzisen Ätz-/Aschesystem.