Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #199859 zu verkaufen
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ID: 199859
Wafergröße: 8"
TCP oxide etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -002
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: close loop
Generator: PDW 2200
RF match: LOFAT
Endpoint: monochrometer
MFCs: Unit 1660
Gas config:
Gas 1: Ar 1000
Gas 2: N2 200
Gas 3: O2 200
Gas 4: CH4 200
Gas 5: CHF3 50
Gas 6: SF6 50
Gas 7: O2 1000.
LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittlicher, vollautomatischer und digital gesteuerter Plasmaätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Halbleitern und mikroelektronischen Materialien verwendet wird. Diese Maschine bietet mehrere einzigartige Funktionen zur Verbesserung der Benutzerproduktivität, Genauigkeit und Präzision. 4520 besteht aus starken und langlebigen Materialien, die seinen langfristigen Einsatz verbessern. Die Maschinenkomponenten sind leicht zugänglich und austauschbar, so dass Wartung und Reparatur mit minimalen Stillstandszeiten erreicht werden können. Das digitale Bedienfeld ermöglicht eine effiziente und präzise Steuerung der Verarbeitungsparameter. Die hohe Verarbeitungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit durch LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher ermöglicht zudem die Herstellung besserer und qualitativ hochwertigerer Geräte. Das digitale Bedienfeld verfügt auch über verschiedene Tasten und Encoder, die es dem Bediener ermöglichen, die Ätzdauer, den Druck und die Zusammensetzung sofort anzupassen. Die Maschine verfügt über zwei voneinander unabhängige Kammern zur doppelten Waferbearbeitung in einem Arbeitsgang. Die Vorrichtung ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätzgasen und Prozessflüssigkeiten zum chemischen und physikalischen Ätzen von Dickfilm- und Dünnfilmsubstraten zu verwenden. Es kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien zu modifizieren und zu ätzen, einschließlich Silizium, Galliumarsenid und andere Halbleitermaterialien. 4520 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um Bediener und Produkte vor gefährlichen Bedingungen zu schützen. Die an der Maschine eingebauten Sicherheitsvorkehrungen umfassen Gasexplosionsüberwachung, Drucksicherheitsverriegelungen und Notabschaltknöpfe. Darüber hinaus wird durch die Verwendung eines vollständig abgedichteten Systems jegliches gefährliche Material oder Vakuum enthalten. Die Maschine ist extrem vielseitig und der modulare Aufbau ermöglicht es Benutzern, das System so zu konfigurieren, dass es ihren Prozessanforderungen entspricht. Darüber hinaus wurde LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher entwickelt, um die internationalen Sicherheitsstandards zu erfüllen. So können Anwender ihre Maschine sicher, zuverlässig und konform bedienen. Abschließend ist 4520 Ätzer/Ascher die ideale Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und Mikroelektronik. Mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, dem präzisen und präzisen digitalen Bedienfeld und der einfachen Wartung und Reparatur bietet diese Maschine Benutzern das ultimative Werkzeug für hohe Produktivität.
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