Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #293595659 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein Ätzer/Ascher aus Einzelwafer, Niederdruck, Plasmaaktivierung, der in der Lage ist, eine Reihe von Materialien zu ätzen oder zu aschen, einschließlich Dielektrika, Polyimid, Glas, Metall und Silizium. Es ist eine kompakte Ausrüstung mit einer 6-Zoll-Wafergröße, die eine hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Prozessflexibilität bietet, um kostspielige und zeitaufwendige Änderungen an der Ausrüstung zu reduzieren. Das System verfügt über einen Niederdruck-, Plasmaaktivierungsprozess und wurde entwickelt, um die Oberflächenverschmutzung zu reduzieren und eine hohe Qualität, anisotrope Ätzrate und Tiefengleichmäßigkeit zu gewährleisten. 4520 ist auch eine energieeffiziente Einheit und ist mit einer geschlossenen Prozesssteuerungsmaschine ausgestattet, um die volle Gleichmäßigkeit und Steuerung des Ätzprozesses zu gewährleisten. Zusätzlich enthält es eine Hochleistungs-Mikrowellenquelle für Hochleistungs-Ätz-/Aschezyklen und/oder Plasmabehandlungen. Die exklusive DART (Dynamic Etch Rate Control) -Technologie, die im Lieferumfang des Tools enthalten ist, dient der Überwachung und Steuerung der Geschwindigkeit des Ätzvorgangs, wodurch Plasma und Gleichmäßigkeit durch den Ätzprozess stabilisiert werden. Dadurch wird sichergestellt, dass unabhängig von der Prozessanforderung das qualitativ hochwertigste Teil erstellt wird. Darüber hinaus ermöglicht die Funktion CPV (Closed-Loop Process Validation) die schnelle und einfache Übernahme neuer Rezepte, eine schnellere Kapitalausschüttung und allgemeine Prozessoptimierungen. Die Anlage ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen sowie eine Reihe von Materialien zu handhaben, so dass verschiedene Ätz- und Aschesorten möglich sind. Die benutzerfreundliche GUI ermöglicht kundenspezifische Ätz-/Ascherezepte, die den Anwendungsanforderungen des Kunden entsprechen. Der Ätzer/Ascher kann sowohl im Batch- als auch im kontinuierlichen Modus verwendet werden. LAM RESEARCH 4520 wird von überlegenen Kommunikations- und Supportdienstleistungen zu einem wettbewerbsfähigen Preis unterstützt, die höchste Kundenzufriedenheit gewährleisten.