Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9029521 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher. Es ist Teil einer Reihe fortschrittlicher Ätz- und Aschewerkzeuge, die Herstellern eine präzise Kontrolle über ihre Prozesse bieten. 4520 ist eine trockene, positiv ätzende Einrichtung, was bedeutet, dass Material durch eine gasgetriebene Plasmaquelle entfernt wird. Es ist in der Lage, präzise Merkmale mit hoher Genauigkeit, auf breiten Palette von Materialien, mit genauer Kontrolle der Merkmale, Tiefe und Oberflächengüte zu produzieren. LAM RESEARCH 4520 hat einen modularen Aufbau, der eine große Flexibilität im Prozess ermöglicht. Es kann für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen konfiguriert werden, einschließlich chemisches/mechanisches Polieren (CMP), Maskieren/Demaskieren, Mikrostrukturieren und schnelle thermische Verarbeitung (RTP). Es hat auch die Fähigkeit, eine Vielzahl von Substratformen und -größen zu verarbeiten, so dass die Prozessgleichförmigkeit bei der Herstellung komplexer Geräte. 4520 verfügt über eine integrierte Prozesssteuerung, die eine präzise Steuerung aller Faktoren, einschließlich der Zeit, Temperatur und Druck des Prozesses ermöglicht. Dies ermöglicht eine hohe Qualität im Produktionsprozess und trägt zur Fehlerreduktion bei. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein Mehrzonen-He-Ne-Laserinterferometer, das eine präzise Messung der Substratstandorte ermöglicht. LAM RESEARCH 4520 enthält auch erweiterte Sicherheitsfunktionen, wie z. B. eine ausfallsichere Maschine, um den Prozess bei Bedarf zu stoppen. Das Tool enthält auch eine Vielzahl von Diagnosefunktionen, einschließlich Echtzeit-Bildgebung, um Prozessparameter und Zonen zu überprüfen. Dies trägt dazu bei, die Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten. Abschließend ist 4520 ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der den Herstellern eine präzise Steuerung ihrer Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Der modulare Aufbau und die fortschrittliche Prozesssteuerung ermöglichen eine hohe Flexibilität bei der Herstellung komplexer und qualitativ hochwertiger Geräte. Es verfügt auch über Diagnosefunktionen und Sicherheitsmerkmale, um eine gleichbleibende Qualität im Produktionsprozess zu gewährleisten.