Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9145513 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein robuster Plasmaätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät ist mit einer einzigen Kammer ausgestattet, die effiziente und wiederholbare Ätzprozesse ermöglicht. Die Prozesskammer verfügt über eine Diamant-Metall-Hybrid-Abschirmung und ist sowohl für Anwendungen mit niedriger als auch hoher Leistung geeignet. 4520 verfügt über digitale Regler, in denen Parameter wie Plasmaleistung, Temperatur und Druck eingestellt und gespeichert werden können. Dieser Ätzer wird über einen über Ethernet angeschlossenen PC gesteuert und ermöglicht eine benutzerfreundliche Programmierung und Onboard-Rezeptentwicklung. Als zusätzliche Sicherheitsfunktion verfügt LAM RESEARCH 4520 über ein integriertes Sicherheitssystem, das eine Fernabschaltung des Geräts bei Auslösung eines Alarms ermöglicht. 4520 verfügt über eine Reihe von Zubehör zur Verbesserung von Ätzprozessen, darunter ein Ferndiagnosewerkzeug, eine Inertgasrückführungsmaschine und ein automatisches Wafertransportwerkzeug. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein automatisiertes Endpunkterkennungsmodell, um eine konsistente Waferverarbeitung und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH 4520 verwendet entweder Halogen- oder Stickstoff-basierte Plasmachemie zum Ätzen. Es verfügt über eine breite Palette von Materialien, die es ätzen kann, einschließlich Polymere, SiO2, Si3N4, PECVD-Schichten und Metallschichten. Das Gerät kann auch Kupfer mit einer Geschwindigkeit von bis zu 1000 Angström pro Minute ätzen. Zusätzlich zu den Ätzfähigkeiten können 4520 auch für hohe Seitenverhältnisse und anisotropes Ätzen verwendet werden. Es bietet auch rückseitige Läpp- und Gräben-Funktionalität, die für eine verbesserte Gerätebearbeitung verwendet werden kann. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4520 ein flexibles und zuverlässiges Ätz-/Aschersystem und die perfekte Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen in höchster Qualität. Dieses Gerät ist robust und benutzerfreundlich und sorgt für wiederholbare und konsistente Ergebnisse, so dass es sich ideal für Serienanwendungen eignet.