Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9145859 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher ist ein fortschrittliches Verarbeitungsgerät, das für den industriellen Einsatz geeignet ist. Es ist in der Lage, mit einer Reihe von Materialien in einer einzigen Prozesskammer zu ätzen, zu planarisieren und zu aschen, was einen erhöhten Produktionsdurchsatz und eine höhere Prozessflexibilität ermöglicht. 4520 hat eine Kapazität von 24 400 mm Waferträger und ist mit chemischen und trockenen Verarbeitungsfähigkeiten ausgestattet. Für die chemische Verarbeitung können Anwender aus einer Vielzahl von Flüssigkeiten wie IPA, KOH und TMAH wählen, und für die trockene Verarbeitung kann LAM RESEARCH 4520 mit N2 und O2 verwendet werden. 4520 ist mit einem modularen Steuergerät (MCS) gebaut, mit dem Benutzer Prozessparameter von einem Computer aus steuern können. Dies ermöglicht eine fortschrittliche Prozessoptimierung und reduziert den manuellen Eingriff. LAM RESEARCH 4520 verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen zum Schutz des Personals. Es verfügt über ein druckbegrenztes Kammersystem (PLC), das eine Überdrucksituation in der Kammer verhindert, und eine thermische Unterbrechungseinheit, die einen Wärmeaufbau in der Kammer verhindert und die Brandgefahr reduziert. 4520 verfügt auch über eine automatische Lecksuche Maschine, die entworfen ist, um Lecks im Werkzeug zu erkennen, bevor sie aus dem Ruder laufen. In Bezug auf die Leistung ist LAM RESEARCH 4520 in der Lage, eine breite Palette von Ätzraten und Wiederholbarkeit von innerhalb von ± 5% über 20 aufeinanderfolgende Wafer. Es eignet sich sowohl für Kleinserien als auch für Großserien und kann zur Bearbeitung von Wafern mit einem Durchmesserbereich von 100mm bis 200mm verwendet werden. Es verfügt auch über eine lange mittlere Zeit zwischen Ausfall (MTBF) Rate, die es ideal für kontinuierlichen, ununterbrochenen Betrieb macht. Insgesamt ist 4520 Ätzer/Ascher ein hochleistungsfähiges, industrielles Verarbeitungsgerät, das in der Lage ist, eine Reihe von Materialien zu ätzen, zu planarisieren und zu veraschen. Seine Fähigkeiten machen es für die Serienproduktion geeignet und seine fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale gewährleisten die Sicherheit des Personals.