Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9189989 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein Ätzer oder Ascher, bei dem ein Plasma oder Gas an die Stelle der flüssigen oder pastösen Chemikalien tritt, die im traditionellen Ätz- oder Ascheprozess verwendet werden. Die Geräte werden vor allem bei der Herstellung und Prüfung von Halbleiterbauelementen eingesetzt. Es ist ein vertikales System, typischerweise 24 „bis 30“ breit, das eine Ätzkammer, eine Vakuumkammer und Hilfseinrichtungen umfasst. Es ist in der Regel vollständig aus Edelstahl oder Aluminiumlegierung gebaut, um eine Reinraumumgebung während des Betriebs zu erhalten. Die Ätzkammer hat eine Duschkopf-HF-Leistungsverteilung, die mit bis zu 200V betrieben wird. Dies ermöglicht einen Plasmastrom, der der Oberfläche des Wafers gegenübersteht und sie ätzt. Unmittelbar neben der Ätzkammer befindet sich eine Vakuumkammer. Es kann durch den Einsatz von Turbo-Molekularpumpen bei Innendrücken bis zu 10 mT gehalten werden. Mit 4520 lassen sich vielfältige Ätzchemien erzielen. Ein Gas-Assist-Modus erhöht den Ätzwirkungsgrad beim Ätzen von Fotolackfilmen ebenso wie die variable Spannungsfähigkeit. Die Ätzkammer verwendet ausschließlich ein oder mehrere CxF6 (Hexaflouropren-Gas) Gas, gemischt mit verschiedenen anderen Ätzgasen, je nach Verfahren. LAM RESEARCH 4520 verfügt über mehrere Polaritäts- und Blattmagnetfeldkonfigurationen, die es dem Bediener ermöglichen, die Form der Ätzung zu steuern. Zur präzisen Steuerung der Prozessparameter werden Gasdurchflussmesser und Sensoren sowie verschiedenste Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren und Steuerungssysteme eingesetzt. 4520 ist mit mehreren Prozesswerkzeugen und einer Vielzahl isolierter Zonen konfigurierbar, um ein gleichzeitiges Ätzen mehrerer Wafertypen oder -formen zu ermöglichen. Darüber hinaus sind Display-Schnittstellen, Gasmisch- und Abgabesysteme, Waferträger, Rollläden und Vakuumsysteme alle auf Schaltungstest- und Abbildungsanforderungen ausgelegt. Das Gerät bietet eine präzise Steuerung der Prozessvariablen, um wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten und hat sich als äußerst zuverlässig und präzise erwiesen. Mit ausgezeichneter Prozesssteuerung und wiederholbaren Ergebnissen wurden LAM RESEARCH 4520 Modelle in der Halbleiterindustrie weit verbreitet. 4520 ist mit seiner hervorragenden Plasmaerzeugung und seiner ausgeklügelten Steuerungsmaschine ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug zum Ätzen und Aschen im Halbleiterherstellungsprozess.