Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9243876 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4520
ID: 9243876
Weinlese: 1996
Oxide etcher 1996 vintage.
LAM RESEARCH 4520 Asher ist ein physikalischer PVD-Ätzer, der entwickelt wurde, um Produkte mit hoher Gleichmäßigkeit und Leistung herzustellen. Diese Anlage ist in der Lage, Ätz-, Mikro- und Dünnschichtabscheidungsprozesse durchzuführen. Es ist ein kostengünstiges Werkzeug für die für die Halbleiterverarbeitung erforderlichen Submikronmerkmale. 4520 Asher verfügt über eine einzigartige Funktion, die einen schnellen Übergang zwischen Ätz- und Dünnschichtabscheidungsprozessen ermöglicht und die Produktionszykluszeit optimiert. Es verfügt über ein fortschrittliches Prozesskammerdesign, das schnelle Bearbeitungszeiten und Gleichmäßigkeit bei großen Wafergrößen bietet. Der gesamte Ätzprozess ist vollständig geschlossen Schleife nass und trocken. LAM RESEARCH 4520 Asher verfügt über ein Doppeldüsensystem, das die Abscheidung von anisotroper oder schichtweiser Abscheidung sowie nicht kontrolliertes Ätzen ermöglicht. Dies macht es besonders nützlich für Ätzprozesse, die eine große Präzision und Kontrolle erfordern. Das Gerät kann mehrere Wafer bis zu 8 „Durchmesser und bis zu 1“ dick in einem einzigen Lauf verarbeiten. 4520 Asher ist ein robustes und zuverlässiges Werkzeug, das wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse liefert. Dank der hohen Prozessgeschwindigkeit und der umfangreichen Prozessoptionen können Anwender ihre gewünschten Produkte schnell und präzise ätzen. Diese Maschine wurde entwickelt, um eine Reihe von Low-End-Produkten, wie Lateral Field Isolation und Gate Cut, bis zu den kompliziertesten FEOL-Strukturen zu verarbeiten. LAM RESEARCH 4520 Asher bietet Betreibern umfassende Prozessunterstützung, einschließlich umfassender Rezeptentwicklung und -überwachung sowie umfassender On-Board-Scan- und Diagnosefunktionen. Darüber hinaus enthält es mehrere zusätzliche Funktionen wie 3D-Bildgebungsfunktion und eine Reihe von Automatisierungsfunktionen wie Auto Naming und Tracking. Abschließend ist 4520 Asher ein leistungsfähiges und zuverlässiges Ätz- und Dünnschichtabscheidungswerkzeug, das eine breite Palette von Ätz-, Dünnschichtabscheidungs- und Mikroherstellungsproduktanforderungen erfüllen kann. Diese Anlage ist so konzipiert, dass sie wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse liefert und für eine Vielzahl von Produktionsumgebungen geeignet ist.
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