Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9389918 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein Cluster-Plattformätzer/-ascher, der die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen erforderliche Präzision, Geschwindigkeit und Qualitätskontrolle liefert. Diese Ausrüstung besteht aus mehreren hochpräzisen Ätz- und Aschekammern mit einem erweiterten Kammersteuerungssystem und einem integrierten Massenstromregler. 4520 wurde entwickelt, um extrem schnellen Durchsatz und Zuverlässigkeit mit parallelen Verarbeitungsfähigkeiten und Hochtemperaturverarbeitung zu bieten. LAM RESEARCH 4520 Ätzer/Ascher verfügt über drei erweiterte Ätz- und Aschekammern, die jeweils für verschiedene Verarbeitungsarten optimiert sind. Die Plasmaätzkammer ist für Plasmareinigung, Probenvorbehandlung, Ätzen und Aschen von Wafern ausgelegt. Es ist in der Lage, Wafer bis zu 5 Zoll Durchmesser zu verarbeiten, und ist mit einem variablen Frequenzantrieb zur präzisen Steuerung der Prozessparameter ausgestattet. Die Ultra-High-Density-Kammer eignet sich ideal zum Ultra-High-Density-Ätzen und Aschen von Wafern und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu verarbeiten. Es ist auch mit einer Reihe von fortschrittlichen integrierten Komponenten für eine präzise Prozesssteuerung ausgestattet. Schließlich sorgt die Nassätzkammer für eine hohe Genauigkeit beim Nassätzen und Aschen und ist mit einem integrierten laminaren Durchflussregler, Temperaturregler und Drucksensor ausgestattet. Der Ätz- und Ascheprozess auf 4520 wird durch eine Reihe fortschrittlicher Komponenten gesteuert, einschließlich einer SPS auf Basis von Siemens Simatic S7, die eine präzise und genaue Kontrolle der Prozessparameter ermöglicht. Ein fortschrittlicher Prozessregler ist ebenfalls integriert, der Temperatur, Zeit, Druck und Reaktionsbedingungen in Echtzeit überwacht und eine automatische Prozessoptimierung für maximale Präzision, Genauigkeit und Ausbeute bietet. Das Gerät verfügt außerdem über einen fortschrittlichen Massenstromregler, der eine präzise Steuerung der Zulaufgase und Wirkstoffe gewährleistet, um bei jedem Ätz-/Aschekreislauf stabile Prozessparameter bereitzustellen. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Diagnosewerkzeugen, wie kryogenes Rasterelektronenmikroskop, Röntgenphotoelektronenspektroskopie, Restgasanalysator und Oberflächenprofiler. Diese Tools bieten eine präzise Kontrolle über den Ätz-/Ascheprozess und ermöglichen eine genaue Kontrolle der Prozessparameter sowie die Möglichkeit, Prozessprobleme zu überwachen und zu beheben. LAM RESEARCH 4520 ist für extreme Zuverlässigkeit und Hochtemperaturverarbeitung konzipiert und bietet erweiterte Funktionen, einschließlich der parallelen Verarbeitung mehrerer Wafer und der Rezeptspeicherung für den einfachen Rückruf von Prozessschritten. Das Tool ist außerdem mit einem fortschrittlichen Software-Paket zur Prozesssteuerung ausgestattet, das eine rezeptbasierte automatische Prozesssteuerung sowie eine benutzerfreundliche Oberfläche zur Optimierung des Assets bietet. Darüber hinaus umfasst 4520 eine Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen, einschließlich eines Wartungsmodus, der einen sicheren Betrieb des Modells auch bei Ausfall eines Prozessschritts ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4520 eine fortschrittliche und zuverlässige Ätz- und Ascheausrüstung, die sich ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet. Es bietet extrem schnellen Durchsatz und Zuverlässigkeit, mit genauer Kontrolle der Prozessparameter und fortschrittliche Diagnostik, so dass es ein wertvolles Werkzeug für die Erzielung maximale Präzision und Ausbeute.