Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9389919 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4520
ID: 9389919
Oxide etcher, 6" Clamp classic.
LAM RESEARCH 4520 etcher/asher ist ein hochmodernes Gerät, das speziell entwickelt wurde, um überlegene Leistung bei Ätz- und Ascheanwendungen zu liefern. 4520 ist für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung bestimmt und liefert zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen. Der Ätzer/Ascher verfügt über eine große, 20-Zoll mal 12-Zoll-Arbeitskammer, die es einfach macht, auch große Substrate unterzubringen. Es ist mit fortschrittlichen, benutzergesteuerten Prozessparametern ausgestattet, um sicherzustellen, dass die idealsten Bedingungen für den spezifischen Ätz- oder Ascheprozess erreicht werden können. Die Temperaturregelung wird auf ± 0,5 ° C des Sollwerts geregelt, was genaue und reproduzierbare Ergebnisse ermöglicht. LAM RESEARCH 4520 verfügt zudem über ein kompaktes, energiesparendes Design und umfasst erweiterte Optionen wie Hot-Edge-Roboter-Handling und Remote-Prozessüberwachung mit Datenerfassungsfunktionen. Es bietet genaue und konsistente Ätzgleichförmigkeit über das gesamte Substrat, indem es eine HF-Plasmaquelle und eine vollständig einstellbare, geschlossene Rückkopplungssteuerung für wiederholbare, qualitativ hochwertige Prozesse verwendet. Zur Erhöhung der Sicherheit ist es mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie Vakuum-Erschöpfungsmonitoren, abgeschirmten Wänden zur Vermeidung elektrischer Gefahren und Verriegelungen ausgestattet, die ein unsachgemäßes Öffnen der Tür während des Betriebs verhindern. Darüber hinaus verfügt 4520 über einen austauschbaren, langlebigen Edelstahl-Innenraum der 304-Klasse für eine einfache Reinigung und längere Lebensdauer. Neben der einfachen Bedienung und Wartung ist LAM RESEARCH 4520 mit einer Reihe von Prozessgasen und flüssigen Vorläufern kompatibel. Es ist ideal für Anwendungen wie Tiefätzen, Aschen und RIE-Prozesse, sowie spezifische Substrate wie Siliciumcarbid, Galliumarsenid, Galliumnitrid, Molybdändisulfid und viele andere. Insgesamt ist 4520 Ätzer/Ascher ein herausragendes Gerät, das in der Lage ist, wiederholbare, konsistente Ergebnisse - benutzerfreundlich - für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen zu liefern. Die fortschrittlichen Eigenschaften, die außergewöhnliche Temperaturregelung und das energiesparende Design machen es zu einer idealen Wahl für Labore und Branchen, die effiziente und zuverlässige Oberflächenhandhabungsoperationen erfordern.
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