Gebraucht LAM RESEARCH 4520 #9401524 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520 ist ein Hochleistungsätzer/Ascher. Es handelt sich um ein vertikales reaktives Ionenätzer- und Asher-System (VRIEA) für die Produktion. Dieses System verwendet eine spezielle Kombination von Energiequellen und Chemikalien, um konsistente und wiederholbare Prozesse zu erstellen, die hochpräzise Ätz- und Ascheergebnisse liefern. 4520 ist in der Lage, eine breite Palette von verschiedenen Prozessen. Es verfügt über ein sauberes und dickes Trockenätzverfahren, einen optional integrierten Ascher und eine thermische Fähigkeit. Es verfügt auch über eine erweiterte Schnittstelle für Rezept-Setup, Datenerfassung und Management und Systemdiagnose. Dies ermöglicht eine breite Palette von Prozessflexibilität und individuellen Konfigurationen. LAM RESEARCH 4520 ist für eine breite Palette von Chipgrößen konzipiert. Es ist kompatibel mit Wafern von 1 - 6 Zoll und ist in der Lage, Dicke aus NMOS, PMOS oder oxidartigen Materialien zu erreichen. Es verfügt über eine schmale, gleichmäßige Ätzung, die kritische Abmessungen minimiert, und es hat eine Genauigkeit von +/- 0,25 Mikrometer. 4520 nutzt Plasmaenergiequellen und Chemie, um die gewünschten Ätz- und Ascheprozesse zu erreichen. Seine Gasgemische sind auf jeden Prozess zugeschnitten und in vielen Kombinationen konfigurierbar. Sein Hochfrequenz-Generator mit variabler Leistung sorgt für einen einheitlichen und konsistenten Prozess. LAM RESEARCH 4520 enthält auch eine erweiterte Software-Anwendung zur Verwaltung des Ätz- und Ascheprozesses. Diese Software kann helfen, sequenzielle Schritte in einem Ätzrezept zu erstellen, Produktionsdaten zu sammeln und Prozessparameter zu überprüfen. Es kann auch bei der Fehlerbehebung und Automatisierung des Ätzprozesses helfen. Der vielseitige 4520 ist für die Herstellung der kleinsten und anspruchsvollsten Produkte von heute konzipiert. Die integrierte Software und die fortschrittlichen Prozesse machen es perfekt für hochpräzises Ätzen und Aschen. Es kann die Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit bieten, die erforderlich sind, um bestmögliche Ergebnisse zu erzielen.