Gebraucht LAM RESEARCH 4520B #9278088 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4520B
ID: 9278088
Oxide etcher Classic software ESC Ceramic PDW-2200 RF Generator.
LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher ist ein leistungsstarker, 3 Kammern, Inline-Ascher/Ätzer für die Halbleiterbauelementherstellung. 4520B verfügt über eine einzigartige unabhängige Schiebelast, die Flexibilität bei der individuellen Kammernutzung, Temperatur, Druck und Rezepturentwicklung bietet. Der Ätzer/Ascher ist vollständig mit Sicherheitssystemen konfiguriert und verfügt über integrierte Selbstdiagnosefunktionen. Es wurde entwickelt, um zuverlässige Hochleistungsgeräte mit reibungsloser gleichmäßiger Verarbeitungsfähigkeit zu liefern. LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher verfügt über ein kompaktes planares Design, das bis zu drei Bearbeitungskammern gleichzeitig mit minimalem Platzbedarf und leicht bereitgestellter Kommunikationsschnittstelle aufnimmt. Der Ätzer/Ascher verfügt über aktive Einheitlichkeitskontrolltechnologie, eine proprietäre Plasmaquelle und fortschrittliche Gasliefergeräte. Die drei Bearbeitungskammern aus 4520B, einem Ascher, einer konstanten Temperatur oder einem programmierbaren Temperaturätzer und austauschbarem Wetclean ermöglichen es Benutzern, verschiedene Parameter wie Ätzmaterial, Temperatur und Druck, Plasmaleistung und Ätzgleichmäßigkeit zu optimieren, um einen optimalen Durchsatz und Ertrag zu erzielen. LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher verfügt über eine präzise beschreibbare Rezeptsteuerung, mit der Anwender präzise Prozesse schnell und einfach replizieren können. Es hat eingebaute Unterstützung für sowohl Kammerebene und Rezeptur Qualitätskontrolle, mit Echtzeit-Kammer Diagnosesystem für Rezepturoptimierung und Kammerleistung. Darüber hinaus bietet es eine breite Palette von Prozessparametern einschließlich Temperatur, Druck und Gasströmung und bietet eine präzise Steuerung der einzelnen Kammern. Darüber hinaus ist 4520B mit effizienten Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich Gasbehälter, Absperrung in der Kammer, automatisiertes Drucksteuergerät und Beleuchtungsmaschine. Es bietet auch eine freihändige Endpunkterkennung, eine bequeme Ressourcenfreigabe und Benutzer können alle verfügbaren Prozessparameter in Echtzeit überwachen, einschließlich Wafer-zu-Wafer-Wiederholbarkeit. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher eine ideale Lösung für die gesamte Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist mit effizienten Sicherheitsfunktionen ausgestattet und bietet eine präzise Steuerung, die eine präzise Rezepturausführung für eine einheitliche Gerätebearbeitung ermöglicht.
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