Gebraucht LAM RESEARCH 4520i #9130287 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520i ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um einen ultrahohen Seitenverhältnis-Ätzprozess bereitzustellen. Dieser Ätzer/Ascher ist ein kompaktes Hochtemperaturgerät, das für eine Vielzahl von Anwendungen, wie Halbleiterdüsenverpackungen, geeignet ist. 4520i-Prozesse bei 225 ° C bzw. 180 ° C für Ätz- und Ascheranwendungen. Dieses System ist mit patentierten ECR-Ätzern mit mehreren Kerben für überlegene geätzte Funktionen mit hohem Seitenverhältnis ausgestattet. Der Mehrkerbätzer besteht aus zwei Primärteilen: einer Gasverteilungsspule, die in der Ätzkammer magnetisiert ist, und zwei Keramikdüsen, die als Ätzstellen dienen. Die Gasverteilungsspule erzeugt eine gleichmäßige Ätzgaszelle, um einen konsistenten Prozess zu ermöglichen. Die Keramikdüsen erzeugen eine Reihe kleiner Ätzionen, die für eine tiefe Ätzung in das Substrat fokussiert sind. LAM RESEARCH 4520i verwertet eine mikrokontrolleurbasierte Hochleistungskontrolleinheit, die eine Vielfalt der Macht, Temperatur und leicht anzupassenden Druck-Einstellungen berücksichtigt. Der Ätzprozess wird mit einem Programmable Logic Controller (SPS) gesichert, der Prozessautomatisierungs- und Datenerfassungsfunktionen bietet. Die Luftfiltrationsmaschine sorgt auch für sauberen Betrieb. Die Vorteile der Wahl 4520i umfassen Kosteneffizienz, ausgezeichnete Präzision, hohe Auflösung und hohen Durchsatz. Mit seinem variablen Ätzbereich, der großen Tiefe der Ätztiefen und den schichtweisen Ätzfähigkeiten kann LAM RESEARCH 4520i die anspruchsvollsten Anforderungen erfüllen. Durch das Ätzen von kleineren Löchern und anderen Mustern bietet 4520i eine außergewöhnliche Prozesskontrolle mit minimalem Abfluss und hohen Ertragsraten. Das hochpräzise automatisierte Steuerungswerkzeug und die Überwachungsfunktionen machen LAM RESEARCH 4520i schließlich zu einem effektiven Werkzeug für Ätz- und Ascheanwendungen.