Gebraucht LAM RESEARCH 4520i #9226619 zu verkaufen
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LAM RESEARCH 4520i ist ein hochmoderner, hochpräziser Plasmaätzer/Ascher, der die anspruchsvollsten und präzisesten Ätzanforderungen erfüllt. Dieses revolutionäre Werkzeug bietet Präzisionsätzen auf Waferebene mit der Option 3 oder 4 Seitenätzen mit optionaler mehrachsiger Ätzung. 4520i verwendet eine Echtzeit-Ätzmaschine, die eine prozessinterne Steuerung und Prozessstabilität ermöglicht. Dies führt zu einer qualitativ hochwertigen Ätzung mit wenigen Prozessfehlern. LAM RESEARCH 4520i verfügt über eine breite Palette von Funktionen zum präzisen Ätzen und Aschen von Wafern und Substraten, einschließlich einer Multimode-Prozesskammer, die eine verbesserte Prozesssteuerung und verbesserte Prozessstabilität ermöglicht. Das Kammerdesign bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit und ist sehr flexibel zu einer Vielzahl von Substratmaterialien, mit hervorragender Vakuumleistung und niedrigen Partikelwerten. Der Ätzer kann eine hohe Genauigkeit mit einer breiten Palette von Auflösungsoptionen erreichen und erreicht bis zu ± 0,5 Mikrometer Genauigkeit. Die fortschrittliche Systemarchitektur von 4520i ermöglicht eine einfache Bedienung mit flexibler Prozesssteuerung und Datenerfassung. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche erleichtert die Einrichtung und Bedienung von Prozessparametern sowie die Datenerfassung von Prozessabläufen. Das Gerät ist auch mit einer rezeptbasierten Programmierfunktion ausgestattet, die die zukünftige Entwicklung von individuellen Rezepten für einen bestimmten Prozess ermöglicht. LAM RESEARCH 4520i ist ein zuverlässiges und effizientes Plasmaätz-/Aschersystem, das konsistente, qualitativ hochwertige Ätzprozesse für optimale Geräteausbeuten liefert. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen, seiner Vielseitigkeit und seinen vielfältigen Prozessoptionen ist das System die ideale Wahl für Forschung und Entwicklung sowie für Anwendungen mit geringen Serien. Die integrierte Hard- und Software bietet eine umfassende Prozesskontrolle und sorgt für hohe Ertragsraten, was 4520i zu einer idealen Wahl für diejenigen macht, die einen kostengünstigen, hochpräzisen Ätzer/Ascher benötigen.
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