Gebraucht LAM RESEARCH 4520i #9233410 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520i
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4520i
ID: 9233410
Etcher.
LAM RESEARCH 4520i ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für Halbleiteranwendungen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um hohe Gleichmäßigkeit, Präzisionsätz- und Ascheprozesse zu gewährleisten. Das System verfügt über ein hochvakuumgekühltes, hochfrequenzbetriebenes Plasmaerzeugungsmodul, das sich ideal für kritische Prozesse eignet, die eine enge Konzentration von Plasmaeigenschaften erfordern. Dieses Merkmal macht es für Applikationsprozesse wie Ätzen von ultradünnen Schichten und Substraten geeignet. 4520i verfügt über einen integrierten Controller, der dem Benutzer eine Benutzeroberfläche zur Anpassung und Anpassung der Geräteeinstellungen bietet. Es hat auch eine große Kammergröße und automatische Substrat- und Maskenbelastung, um einen höheren Durchsatz zu erleichtern, ein Merkmal, das besonders bei der Halbleiterherstellung nützlich ist. Seine Elektroden sind so konzipiert, dass sie ein starkes Plasma liefern und präzise und schnelle Ätzraten bei niedrigem Energieverbrauch ermöglichen. Darüber hinaus verfügt es über Tieftemperaturbetrieb für erhöhte Ätzsicherheit. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Standard-Nachätzoperationen und Vakuumprozessen, einschließlich Abkühlung und Radikalentfernung. Dies ermöglicht eine größere Flexibilität bei Ätzprozessen und reduziert den Bedarf an zusätzlichen Technikern. Darüber hinaus verfügt die Ätz- und Aschemaschine über fortschrittliche Hard- und Software, die die Steuerung und Verwaltung des gesamten Prozesses erleichtern. Abschließend ist LAM RESEARCH 4520i ein unglaublich fortschrittliches Ätz-/Aschewerkzeug, das Anwendern hohe Präzision und Gleichmäßigkeit sowie eine Reihe von Standard-Nachätzprozessen und Vakuumprozessen bietet. Es eignet sich ideal für kritische Prozesse, wie das Ätzen von ultradünnen Filmen und Substraten, und sein On-Board-Controller bietet dem Anwender mehr Kontrolle über den Prozess. Es bietet auch eine große Kammergröße und automatische Substrat- und Maskenbelastung. All diese Eigenschaften machen 4520i zu einer großen Bereicherung für Serien- und Präzisionsätzprozesse.
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