Gebraucht LAM RESEARCH 4520i #9292701 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520i ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Gerät verwendet ein plasmagestütztes, isotropes Ätzverfahren. Es ist gut geeignet für Ätzanwendungen wie Merkmalsgrößenreduzierung, Planaritätsverbesserung, B-Ring-Entfernung, Gasisolationsschichtbildung, Umverteilungsschichtmusterung, Linienkantenformung und Passivierungsschichtmusterung. 4520i verfügt über eine Niederdruck-kapazitiv gekoppelte Plasmaquelle, die eine überlegene Ungleichmäßigkeitskontrolle, Gleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit bietet. Es ist mit einem hochdichten HF-Generator ausgestattet, der den Gleichstrombetrieb zusammen mit einem niederfrequenten Hilfsnetzteil für die Versionsvorspannungsregelung ermöglicht. Eine fortschrittliche Prozesssteuerungseinrichtung optimiert den Waferdurchsatz und die Prozessparameter. Das Ätzsystem ist in der Lage, bis zu 1,2 Mikrometer in Minuten zu ätzen und kann Grabenätzanwendungen bis zu 100 nm unterstützen. LAM RESEARCH 4520i verfügt über mehrere Sicherheitsmerkmale wie Gasdiagnose und erweiterte Verriegelungen, die einen rund um die Uhr sicheren Betrieb des Geräts gewährleisten. Die fortschrittliche Kantenschutzmaschine reduziert das Risiko eines Waferbruchs. Das Tool ist auf Flexibilität und Erweiterbarkeit ausgelegt und kann an neue und fortschrittliche Prozesse angepasst werden. Der Vermögenswert ist mit Materialquellen wie Ar/NF3/C4F8, CHF3/CF4, NF3/O2 und O2/CHF3/CF4 kompatibel. 4520i enthält eine Werkzeugautomatisierungssoftware, die eine gleichzeitige Steuerung mehrerer Werkzeuge sowie eine Bearbeitung von Prozessparametern/Rezepten ermöglicht. Das Modell soll Anwendern helfen, den höchsten Durchsatz mit minimalen Defekten und ausgezeichneter Prozesswiederholbarkeit zu erreichen. Die fortschrittliche End-of-Run-Erkennung ermöglicht eine rechtzeitige SPC-Datenerfassung für optimale Waferergebnisse. LAM RESEARCH 4520i ist eine zuverlässige und zuverlässige Maschine, die Anwendern höchste Genauigkeit und Präzision für Ätz- und Ascheprozesse bietet. Der Ätzer/Ascher ist einfach zu installieren und zu warten und bietet Benutzern einen hochautomatisierten Prozess mit robusten, wiederholbaren Ergebnissen.