Gebraucht LAM RESEARCH 4520i #9399005 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4520i
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
4520i
ID: 9399005
Wafergröße: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 4520i ist eine fortschrittliche Etcher/Ascher-Ausrüstung für die Herstellung elektronischer und optoelektronischer Komponenten. Das System ist ein anspruchsvolles und flexibles Hochdurchsatzwerkzeug, das überlegene Ätz-/Aschefunktionen mit hervorragenden Ergebnissen bietet. Es erzielt überlegene Ergebnisse, indem es präziser gezielte Ionen verwendet, um exakte Ätzmuster zu liefern, und gleichzeitig die Ätz- und Aschezeit verringert. 4520i ist mit einem einzigen Hochstrom-Dual-Ionen-Geschützdesign ausgestattet, das in Gegenwart einer breiten Palette von Materialien und Ätzchemie überlegene Ätzraten von 10,000A/cm2 bietet. Sein Design vereinfacht die Ausrichtung, was für die Herstellung hochwertiger Ätzeigenschaften von entscheidender Bedeutung ist und es der Einheit ermöglicht, anspruchsvolle Substrate zu verarbeiten, ohne Schmutz und Partikel in die Prozesskammer einzubringen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Langwurfmodul mit hoher Elastizität, das den Betrieb bei niedrigen Prozessdrücken ermöglicht, um ätz- und aschebedingte Oberflächenschäden zu minimieren. LAM RESEARCH 4520i ist ein modulares Werkzeug, das es ermöglicht, einzelne Komponenten nach Bedarf im Laufe der Zeit zu ändern oder zu aktualisieren, um eine optimale Produktion aufrechtzuerhalten und neue Prozesse aufzunehmen. Das Asset bietet sowohl Standard- als auch kundenspezifische Substrathandhabung und ermöglicht automatisiertes Traversing. Dies ist ideal für das Abscheiden und Ätzen nicht planarer Flächen und Komponenten, die eine genaue Ausrichtung erfordern. Sein Temperaturregelungsmodell ist in der Lage, bei Ätz-/Ascheprozessen an verschiedenen Stellen des Substrats Temperaturmodulation durchzuführen. Darüber hinaus verfügt es über einen hochmodernen Druckmonitor, der die Ätz- und Aschedrücke genau im Auge behält, um reibungslose, konsistente Prozesse zu gewährleisten. 4520i eignet sich für ein breites Spektrum von Ätz- und Ascheanwendungen bei der Herstellung von Feintoleranzkomponenten für die Elektronikindustrie. Es ist eine ideale Ausrüstung für MEMS/NEMS, HF-Komponenten und optische Komponenten, die präzises Ätzen und Aschen erfordern, und bietet äußerst zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für anspruchsvolle Produktionsanwendungen, die hohe Ätz-/Ascheraten, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit erfordern.
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