Gebraucht LAM RESEARCH 4526 #9249911 zu verkaufen
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ID: 9249911
Wafergröße: 6"
Oxide etcher, 6"
Includes:
EDWARDS QDP80 / QMB500 Dry pumps
Chiller.
LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch Equipment ist ein zuverlässiges, effizientes Ascher/Ätzsystem, das eine einheitliche Verarbeitungsabdeckung über eine breite Palette von Substraten bereitstellt. Dieses Gerät ist eine ausgezeichnete Wahl für mittlere bis große Serienläufe, die die Handhabung einer Vielzahl von Substraten ermöglicht und eine breite Palette von Prozesschemien ermöglicht. Die Maschine verfügt über eine robotermontierte RAIE (remote atmosphärisch gesteuerte) Ätzkammer sowie eine IC-Metallisierungskammer zur Abscheidung von Metallen und Dielektrika. Der Roboter artikuliert vier unabhängige Roboterarme, die aus Ober- und Unterarmen bestehen, so dass das Werkzeug sowohl komplizierte Oberflächen als auch glatte Oberflächen handhaben kann. 4526 ist mit einer der fortschrittlichsten Level-IV-Prozesssteuerungstechnologien ausgestattet, die schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeiten bietet und manuelle Anpassungen überflüssig macht. Seine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche ermöglicht es Benutzern, alle Prozesse in Echtzeit zu sehen, während eine Bibliothek mit Prozessrezepten und Vorlagen eine hohe Wiederholbarkeit und Kontrolle der Prozesse ermöglicht. LAM RESEARCH 4526 verfügt auch über erweiterte Sicherheitsfunktionen wie einen physischen Sicherheitsschlüssel, ein bordeigenes Sicherheitslasergitter und eine Anti-Fehlausrichtungs-Schutzfunktion. Darüber hinaus umfasst die Anlage Inline-Inspektionen und detaillierte Prozessüberwachungsfunktionen, die Produktionsabläufe ermöglichen, die höchsten Anforderungen entsprechen. 4526 Modell verfügt über eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich reaktives Ätzen, Polieren, Depassing, Glühen und Spin-on/Isolation Reinigung. Es hat eine hochpräzise Fähigkeit von +/-1 Mikron Genauigkeit, so dass eine präzise Beschneidung und Bildung von kleinen Halbleiterbauelementen. Darüber hinaus sorgt die hochvakuumdichte Ätzumgebung für gleichmäßige Profile und höchste Prozessausbeuten. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch System eine effiziente und zuverlässige Lösung für den Mittel- bis Hochserienlauf. Seine erweiterten Funktionen und Benutzeroberfläche ermöglichen eine hohe Prozesskontrolle, die eine gleichmäßige Verarbeitungsabdeckung über eine breite Palette von Substraten und ausgezeichnete Prozesserträge gewährleistet.
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