Gebraucht LAM RESEARCH 4528 #9011007 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4528 ist eine Ätz-/Aschermaschine für die hochpräzise Ätzung von Siliziumscheiben. Dieses System ermöglicht das präzise Ätzen oder Aschen von Siliziumscheiben sowohl in perfekt definierten Mustern als auch in zufälligen Mustern. Das Gerät kann sowohl Batch- als auch Einzelwaferbearbeitung mit einer Genauigkeit von bis zu 1 Mikron unterstützen. Die im Ätzprozess eingesetzte Druck-, Temperatur- und Dotierstoffkonzentration kann genau auf die Bedürfnisse der jeweiligen Applikation abgestimmt werden. Die Maschine besteht aus zwei Kammern, der Hauptkammer und der oberen Kammer. Die Hauptkammer beherbergt den Plasmagenerator, Gaskracker, Duschkopfinjektoren, Hochstromversorgungen und andere Komponenten. Die obere Kammer enthält die Be- und Entladekörbe bzw. Schoten und das Vorkonditionierwerkzeug. Das in der Hauptkammer erzeugte Plasma dient zum Ätzen der Wafer in der oberen Kammer, während das in der oberen Kammer vorhandene Inkubationsgut dazu beiträgt, die Konsistenz des Ätzprozesses zu erhalten. Das Modell läuft bei einer Temperatur von 70-150 Grad Celsius und einem Druck von 1-10 Torr. Mit integrierter Prozesssteuerung und In-situ-Diagnosefunktionen ist das Gerät in der Lage, einen kontinuierlichen und konsistenten Ätzprozess bereitzustellen. Die integrierte Prozessüberwachung ermöglicht eine enge und genaue Kontrolle des Ätzprozesses mit der Fähigkeit, Änderungen der Prozessparameter wie Temperatur, Druck oder Dotierstoffkonzentration zu erkennen und innerhalb von Sekunden zu berichtigen. Das System ist auch in der Lage, Siliziumscheiben mit einer Gleichmäßigkeit von bis zu 1 Mikron präzise zu ätzen und zu veraschen. Die Einheit sorgt auch für eine gleichmäßige Gasverteilung, die ein gleichmäßiges und gleichmäßiges Ätzen der Wafer gewährleistet. Die Gasqualität wird während des gesamten Ätzprozesses genau kontrolliert, was ein konsistentes Ätzen und eine gleichmäßige Oberflächengüte ermöglicht. Die Maschine ermöglicht auch das Ätzen mehrerer Wafer in einem Prozess, wodurch die manuelle Handhabung und Beladung jedes Wafers entfällt. 4528 ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das für das hochpräzise Ätzen von Siliziumscheiben entwickelt wurde. Mit seiner präzisen Prozesssteuerung, Präzisionsätzen und gleichmäßigen Gasverteilung wird dieses Gut von vielen Fabs für seine zuverlässigen Ergebnisse und Wiederholbarkeit bevorzugt.