Gebraucht LAM RESEARCH 4528 #9200106 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4528 ist eine bekannte Ätz-/Aschemaschine, die seit Jahren in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es wird in einer Vielzahl von Verfahren eingesetzt, die das Ätzen oder Aschen von Metallen und dielektrischen Materialien erfordern. Seine häufigste Anwendung ist die Strukturierung von dünnen Filmen auf Halbleiterscheiben, die einen glatten Aschevorgang mit einer hohen Genauigkeit bieten. Das System wird von einem Digital Imaging Array (DIA) betrieben, das eine Reihe von optischen Parametern misst, einschließlich Lichtintensität, Reflexion und Brechung. Dadurch wird eine genaue Ätzung des gewünschten Musters gewährleistet. Die Kamera ist auf die Ätzkammer fokussiert, die zur Bereitstellung des Ätzmaterials eine geschmolzene chemische Dampfablagerungsplatte (MCVD) aufweist. Es hat auch eine Vakuumabscheidungseinheit, die in der Lage ist, verschiedene Chemikalien auf der Oberfläche des Wafers abzuscheiden, was zu einem gleichmäßigen Ätzen führt. 4528 verfügt über eine integrierte automatische Anpassungsfunktion, mit der der Benutzer die Ätzparameter einstellen kann, ohne sie jedes Mal manuell anpassen zu müssen. Dies beseitigt mögliche Fehler und erhöht die Effizienz des Prozesses. LAM RESEARCH 4528 verfügt zudem über ein integriertes Sicherheitsmerkmal, das verhindert, dass die Maschine bei unsicheren Temperaturen wie Übertemperaturen, Überdruckbeaufschlagung oder Überhitzung arbeitet. Dadurch ist der Mikrobearbeitungsprozess sicher und zuverlässig. In Bezug auf den Betrieb verfügt 4528 über eine benutzerfreundliche Schnittstelle, die alle notwendigen Informationen zur Vervollständigung des Ätz- und Ascheprozesses bereitstellt. Die Maschine kann so programmiert werden, dass sie in verschiedenen Modi wie Allzweck, Batch-by-Batch oder Single-Sample-Modus läuft. Darüber hinaus unterstützt LAM RESEARCH 4528 die weitere Anpassung der Ätzparameter für bestimmte Aufträge. 4528 Werkzeug ist bekannt für seine Zuverlässigkeit und Leistung. Es ist einfach zu bedienen, genau und effizient, bietet qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien. Die Anlage bietet auch ein hohes Maß an Sicherheit, so dass es eine ideale Wahl für jeden Mikromaschinenprozess.