Gebraucht LAM RESEARCH 4528i #9167075 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4528i ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um dünne Filme genau auf Waferoberflächen zu ätzen und abzulegen. Der Präzisionsfilmabscheidungsprozess in Kombination mit einer zuverlässigen konvektionsbasierten Ätzung sorgt für zuverlässige Verarbeitungsergebnisse. Das Gerät bietet eine einfache und effiziente Be- und Entladung und Handhabung von Proben und ist somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen mit hohem Durchsatz. Der LAM 4528i erzielt ausgezeichnete Durchsatzraten und Produktqualität bei niedrigen Betriebskosten. Es verwendet elektrostatische Spannfutter Laden/Entladen Technologie, eine Vakuum-Film-Abscheidekammer, und eine eingebaute Plasma-Ascher. Das System wird mit einer automatischen Oblatenauffindeneinheit, einheitliche Oblate Chuck Umweltkontrollmaschine ausgestattet und hat stotternde Hardware integriert. Die Fähigkeit, die Sauerstoff- und Stickstoffgaskonzentrationen durch Messung des Drucks genau zu steuern, wird über eigene Gaszuführungen und Massenstromregler eingebaut. LAM RESEARCH 4528i ist für die Verwendung mit einer breiten Palette von Materialien, einschließlich Dielektrika, Polymere und verschiedene Metalle. Das Werkzeug verfügt über einstellbare Quell-, Temperatur- und Drehzahlen, was einen erhöhten Leistungsumfang ermöglicht. Die Anlage ist zudem mit zusätzlichen Anschlüssen ausgestattet, um reaktive Gase und zusätzliche Materialquellen in die Aufbereitungskammer pumpen zu können. 4528i ist innovativer Waferätzer/Ascher und bietet ein hohes Maß an Vielseitigkeit und Präzision, um den Anforderungen von Produktions- und Forschungslabors mit hohem Durchsatz gerecht zu werden. Das Modell ist auch einfach zu bedienen und zu warten, so dass gleichbleibend zuverlässige Verarbeitungsergebnisse gewährleistet sind. Das Engagement von LAM RESEARCH 4528i für fortschrittliche Technologie und einfache Bedienung macht es zu einer attraktiven Option für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungs- und Ätzanwendungen.