Gebraucht LAM RESEARCH 4600 #293764324 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4600 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Das Grunddesign von 4600 umfasst zwei unabhängige Aschekammern, die jeweils eine breite Palette von Ätztiefen, Temperaturen und Chemikalien liefern können. Dies ermöglicht es, komplexe Ätzprozesse durchzuführen und gleichzeitig eine hervorragende Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. LAM RESEARCH 4600 verfügt über eine spezielle Pumpausrüstung, um eine verbesserte Werkzeugleistung zu erzeugen und Kontaminationen zu reduzieren. Das flexible Pumpsystem ermöglicht eine spezielle Gasreinigungsfähigkeit, Druckregelung und dynamische Gasflussmessung. Mehrere Kammern sind in der Lage, die Prozessstabilität zu erhalten und das Verschmutzungspotential von Partikeln zu reduzieren. 4600 verfügt über mehrere innovative Funktionen, die sich ideal zum Ätzen und Veraschen von Anwendungen eignen. Seine einzigartige „Dry Etching Technology“ wird bevorzugt für das Ätzen von flachen Gräben und kleinen Vias, so dass es ideal für eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen. Die Anlage verwendet außerdem ein dreistufiges „Dry Ashing“ -Verfahren, das auf hohe Ätzraten und niedrige Rückstände durch Kombination von trockener Oxidation und trockenem Ätzen in einem Schritt ausgelegt ist. Dies ermöglicht die Entfernung von organischen, kleinen Merkmalsgrößen, konformen Schichten und Metalldielektrika mit großer Genauigkeit und Leichtigkeit. LAM RESEARCH 4600 wurde mit robusten Prozesskontrollwerkzeugen, einschließlich prädiktiver Modelle und Merkmalserkennung, entwickelt, um Qualitätserträge zu gewährleisten. Dies bietet eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit, wodurch die Reproduzierbarkeit des Prozesses gewährleistet ist und manuelle Eingriffe entfallen. Zusätzlich zu seinen Prozesssteuerungsfunktionen verfügt 4600 auch über eine Hochgeschwindigkeitsrotationsfunktion, um Ätzzeiten zu reduzieren. Dies hilft, den Ätzprozess zu beschleunigen und die Fehlerbildung durch ungleichmäßiges Aschen zu minimieren. Die Maschine hat auch mehrere benutzerfreundliche Schnittstellenoptionen, so dass es eine großartige Option für Einsteiger und fortgeschrittene Ätzer/Asher-Benutzer. LAM RESEARCH 4600 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine breite Palette von Ätztiefen, Temperaturen und Chemikalien bereitstellt, um den Anforderungen moderner Halbleiteranwendungen gerecht zu werden. Das Tool ist mit robusten Prozesskontrollwerkzeugen, Hochgeschwindigkeitsrotationsfunktionen und benutzerfreundlichen Schnittstellen konzipiert, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für Anfänger und erfahrene Benutzer macht.