Gebraucht LAM RESEARCH 4600 #293807556 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4600 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die zum Ätzen, Aschen und Strukturieren leitfähiger und nicht leitfähiger Schichten auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Es ist mit einer produktionsfertigen isotropen Ätzfähigkeit ausgestattet, die Prozessdurchsatz und Wafer-Gleichmäßigkeit ermöglicht, die die Industriestandards erfüllt oder übertrifft. 4600 System verfügt über eine 13,56 MHz induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) für Ätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt über eine niedrige HF-Generatorleistung, die eine präzise Ätzsteuerung in kritischen Prozessschichten wie flachen Übergängen ermöglicht. Die Kammergröße ermöglicht große Kassetten von bis zu 25 „x 50“. Es bietet auch einen Dualfrequenzgenerator, der sowohl auf Aluminiumoxid als auch auf dielektrischen Hardmasken geätzt werden kann und eine zusätzliche Optimierungsstufe bei Multi-Material-Ätzrezepten bietet. LAM RESEARCH 4600 verfügt auch über manuelle und Automatisierungsfunktionen, so dass Kunden die produktivsten Operationen für ihre Produktionsanforderungen auswählen können. Es verfügt über einen integrierten Roboterarm für Rezept-Setup und Wafer Be-/Entladen. Das Gerät verwendet außerdem eine ARO-Maschine (Auto Recipe Optimization) in Echtzeit, um Zwei-Wege-Parameteroptimierungen durchzuführen und In-situ-Anpassungen während der Verarbeitung vorzunehmen. 4600 bietet schnelle Prozesszeiten mit präzisen Rezepten, die sowohl einen hohen Durchsatz als auch optimale Ergebnisse bieten. Dies ermöglicht den Kunden Kosteneinsparungen und Durchsatzsteigerungen bei minimalem Eingriff des Bedieners. Darüber hinaus verfügt das Tool über erweiterte Funktionen zur Prozessüberwachung und -diagnose, die es Kunden ermöglichen, ihre Prozesse zu beheben und zu optimieren. Dieses fortschrittliche Asset bietet unübertroffene Prozessflexibilität und -kontrolle, sodass Kunden zuverlässige und leistungsstarke Produkte mit einer längeren Lebensdauer produzieren können. LAM RESEARCH 4600 ist die perfekte Wahl für Anwendungen, die Präzisionsätzen und hohe Erträge bei minimalen Ausfallzeiten erfordern.