Gebraucht LAM RESEARCH 4600B #9100790 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher wird für kritische Anwendungen in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt. Dieser Ätzer ist so konzipiert, dass er zuverlässige und einheitliche Ätz- und Aschefunktionen bietet, um Ihren Prozess mit optimierter Prozesssteuerung optimal ablaufen zu lassen. Es verfügt über automatisierte Prozessintegration für die Lieferung von Verbrauchsmaterialien zusammen mit aktiver Abschirmung, um das Potenzial für die Exposition gegenüber gefährlichen Chemikalien zu beseitigen. Dieses Gerät nutzt auch ein Mehrzonen-Gasfördersystem zur präzisen Mikrometer-Steuerung von Ätz- und Aschegasen. 4600B ist eine Mehrkammer-Kammerätz-/Aschereinheit. Es bietet spezifische Ätzfähigkeiten für Dielektrika, Polyimid, Sputtermetalle und mehr. Es hat auch eine OneStep-Kammer zur Waferbeschichtung sowie zum Metalloxidätzen. Die Maschine verfügt außerdem über einen zweistufigen Ätzprozess, um wiederholbare Prozessgleichförmigkeit und optimale Steuerung zu gewährleisten. Die erste Kammer bietet eine radikalische Ätzung, während die zweite Kammer eine saubere und sanfte Finish-Ätzung durchführt. LAM RESEARCH 4600B verfügt auch über Prozessüberwachungsfunktionen, um sicherzustellen, dass der gesamte Ätzprozess innerhalb der Spezifikationen bleibt. Dieses Tool zur Prozessüberwachung enthält einen Aperture Monitor zur Messung der Ätzrate und bietet gleichzeitig einen Überblick über den gesamten Prozess. Darüber hinaus verfügt diese Anlage auch über einen Druckindikator zur Überwachung des Prozessdrucks und einen Gas Flow Monitor, um den Durchfluss von Ätzmittel/Aschegas im Auge zu behalten. 4600B bietet auch eine Vielzahl von robusten Konstruktionen, um sicherzustellen, dass das Modell problemlos läuft. Es verfügt über Vier-Zonen-Lastverriegelung zusammen mit Hochleistungs-Edelstahl-Konstruktion für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Es verfügt auch über eine integrierte Prozessabgasanlage und mehrere ausfallsichere Mechanismen für mehr Sicherheit und höhere Betriebsstabilität. Abschließend bietet LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher wiederholbare, zuverlässige Ätz- und Aschefunktionen, um Herstellern zu helfen, ihre Prozesse bei der Verwaltung von Prozesskontrollen mit maximaler Fähigkeit auszuführen. Es verfügt über ein Mehrkammerdesign für dielektrische und Metallarbeiten sowie präzise Mikrometer-Ätz- und Gasförderfähigkeiten und Prozessüberwachungssysteme. Das System nutzt auch Vier-Zonen-Lastverriegelung und schwere Edelstahlkonstruktion für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit.