Gebraucht LAM RESEARCH 4720 #9272634 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4720 Ätzer/Ascher ist eine vollautomatische Nassätzanlage, die für unübertroffene Prozessqualität und hohen Durchsatz entwickelt wurde. Dieses Gerät ist in der Lage, sowohl nasse als auch trockene Verarbeitungsfunktionen in einer Vielzahl von Metallen und Dielektrika durchzuführen. Mit einer Vielzahl von vorprogrammierten Funktionen können 4720 Ätzer/Ascher eine Vielzahl von Wafern verarbeiten, die von 8 Zoll bis 200 mm reichen. Die schnellen Ätzraten und die Flexibilität des Werkzeugs machen es ideal für Anwendungen wie die Kombination von hochdichtem Plasmaätzen, Dünnschichtabscheidung, Photoresist-Aschen und Nassätzen. LAM RESEARCH 4720 Ätzer/Ascher besteht aus drei Hauptkomponenten; das chemische Abgabemodul, die Kammerbaugruppe und das Stromversorgungsmodul. Das Chemikalienliefermodul liefert während des Ätzprozesses Ätzlösungen, Photoresistlösungsmittel und andere Chemikalien. Die Kammerbaugruppe enthält einen Universal Barrel, der eine Vielzahl von Ätzanwendungen und Prozessoptionen unterstützt. Das Stromversorgungsmodul enthält eine Hochspannungsversorgung, die die für Ätzprozesse benötigte Hochspannung liefert. Das System unterstützt auch eine Vielzahl von Nachätzschritten. Die Plattform 4720 Ätzer/Ascher ermöglicht es dem Anwender, ein optimales Prozessrezept auszuwählen und den Prozess in Echtzeit zu überwachen. Die integrierte Steuereinheit des Werkzeugs bietet dem Benutzer eine Vielzahl von Steuerungsmöglichkeiten, die die Steuerung des Gasstroms und des Drucks, die Steuerung der Ätztemperatur, die Steuerung der Ätzrate und die Steuerung der gesamten Bearbeitungszeit umfassen. Darüber hinaus kann der Benutzer den Prozessstatus überwachen, Live-Prozessvideos anzeigen, die Parameter des Prozesses anpassen oder die Datenergebnisse während des Ätzvorgangs speichern. LAM RESEARCH 4720 Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um die perfekte Balance zwischen Prozess und Leistung zu erreichen. Es wurde entwickelt, um eine beispiellose Prozesswiederholbarkeit, Leistung, Benutzerfreundlichkeit und maximalen Durchsatz zu bieten. Es ist auch für eine einfache, sichere Bedienung und den Zugang zu Postetch-Peripheriegeräten konzipiert. Die vielseitige 4720 Ätz-/Aschermaschine bietet einen überlegenen Ätzprozess, der für viele Anwendungen geeignet ist.