Gebraucht LAM RESEARCH 4720W #9144773 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4720W ist eine Ätz-/Aschemaschine, die speziell für die Entfernung von Photoresist, Metallfilm und anderen Oberflächenschichten auf Substraten wie Wafern, Masken, Folien und Glas entwickelt wurde. Es verwendet eine Kombination aus mechanischen und chemischen Technologien, um Hochleistungs-Ätz-/Ascheanwendungen anzubieten. 4720W ist in der Lage, mehrere Substrate gleichzeitig mit einer Ätzrate von bis zu 2 um/min und einem Durchsatz von bis zu 200 4-Zoll-Wafern pro Stunde zu verarbeiten. Seine einfache Wartung und umfassende Sicherheitsfunktionen machen es ideal für eine Vielzahl von Labor- und Produktionsanwendungen. LAM RESEARCH 4720W besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten. Die Plasmaquelle verfügt über zwei diodenförmige Plasmaquellen, einen chemischen Oxidascher (COA) und einen Plasmaätzer (PE). Die PE-Quelle liefert ein kontrolliertes und gleichmäßiges Plasma zum Ätzen, während die Ascherquelle kurzfristige chemische Reaktionsprozesse für die Photoresistentfernung, das Ätzen von Metallfilmen oder andere Ascheanwendungen bereitstellt. Darüber hinaus ist 4720W mit einem elektrostatischen Spannfutter, einem gasgesteuerten Duschkopf, einer Wafer-Spannklemme und Abgasabdeckungen ausgestattet. Das Plasmakontrollsystem von LAM RESEARCH 4720W bietet eine Reihe verschiedener Prozesse und Parameter, die hochpräzise Ätz- und Ascheanwendungen ermöglichen. Die Advanced Process Controller Software verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche für optimierte Rezeptentwicklung und Prozesssteuerung. Zusätzlich ist 4720W mit einer Dreizonengas- und Drucksteuereinheit zur präzisen Regelung der Kammeratmosphäre ausgestattet. LAM RESEARCH 4720W ist für eine einfache und sichere Bedienung ausgelegt. Sein benutzerfreundlicher LCD-Controller bietet eine einfache Bedienung und seine umfassenden Sicherheitsmerkmale, einschließlich CE-Compliance, machen ihn ideal für Labor- und Produktionsumgebungen. Die kompakte Bauweise und der reduzierte Platzbedarf machen es zudem einfach, bestehende Produktionslinien zu installieren und zu integrieren. Insgesamt ist 4720W eine leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine, ideal für eine Vielzahl von Prozessanwendungen. Die hohe Ätzrate, der Durchsatz und die flexiblen Prozesse machen es zu einer zuverlässigen Wahl für Labor- und Produktionsumgebungen. Darüber hinaus ist die einfache Wartung und umfassende Sicherheitsfunktionen eine ideale Wahl für ein breites Anwendungsspektrum.