Gebraucht LAM RESEARCH 4720W #9149817 zu verkaufen

LAM RESEARCH 4720W Asher ist eine hochmoderne Halbleiter-Nassätzanlage von LAM RESEARCH. Dieses Naßätzsystem soll zu Beginn des Halbleiterprozesses eine hohe Prozessgleichmäßigkeit und Ausbeute bieten. Mit seiner Fähigkeit, dünne Filme schnell und effizient herzustellen, ist 4720W ein wertvolles Werkzeug für mehrere Prozesse. Das Gerät verfügt über eine dreikanalige Plasmaätzkopfkonstruktion, mit der bis zu drei Werkzeuge gleichzeitig geätzt werden können. Die fortschrittliche Membranventiltechnologie liefert exakt zwei reaktive Gasströme zur unabhängigen Durchflussregelung. Auf diese Weise können Benutzer die Ätzdynamik für maximale Gleichmäßigkeit über die Substratoberfläche genau definieren. Die Membranventilmaschine reduziert auch die Menge der Partikelverunreinigung im Ätzwerkzeug. LAM RESEARCH 4720W verfügt über eine Einzel-Wafer-Loadlock, so dass es einfach, Online-Wafer von der Eingangsstufe in die Hochvakuum-Prozesskammer zu übertragen. Während des Prozesses hält das Magnetschwebefutter die Substrattemperaturgleichförmigkeit aufrecht. Das Spannfutterdrehmoment wird über einen langen Zeitraum gesteuert, was die Qualität der geätzten Strukturen weiter unterstützt. Die Anlage verfügt auch über eine Niedertemperatur-Backfähigkeit, so dass Benutzer Hochtemperaturbehandlungen durchführen können, ohne die darunter liegenden Substrate zu verbrennen. 4720W enthält ein erweitertes Partikelmanagementmodell, das Dreifachfiltration verwendet. Diese fortschrittliche Filtrationsanlage sorgt dafür, dass bei der Verarbeitung nur saubere Partikel an die geätzten Strukturen abgegeben werden. Es minimiert auch die Kontamination in der Prozesskammer. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH 4720W eine Echtzeit-Endpunkterkennung, die zur Überwachung des Ätzprofils sowie zur Überwachung des Fortschritts und der Einheitlichkeit des Ätzprozesses verwendet werden kann. Diese Echtzeit-Überwachungsfunktion ermöglicht es Benutzern, Prozessverschiebungen schnell zu erkennen und Anpassungen schnell vorzunehmen. 4720W Asher ist ein zuverlässiges, kostengünstiges Werkzeug für das Halbleiterätzen. Die fortschrittliche Technologie und das Dreifachfiltersystem ermöglichen es Anwendern, hochgleichmäßige Strukturen in kurzer Zeit zu ätzen. Daher können Halbleiterbauelementehersteller von der Verwendung dieser Einheit in ihrem Herstellungsprozess in hohem Maße profitieren.